1 \documentclass[pdf,hdw]{prosper}
4 \usepackage[german]{babel}
5 \usepackage[latin1]{inputenc}
6 \usepackage[T1]{fontenc}
12 \graphicspath{{../img/}}
17 \title{Vorstellung der Diplomarbeit}
18 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
19 \author{Frank Zirkelbach}
20 \email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
21 \institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik - Universit"at Augsburg}
26 \begin{slide}{"Uberblick}
29 \item Grundlagen der Ionenimplantation
30 \item Experimentelle Befunde
34 \item Herstellung breter lamellarer Bereiche
40 \begin{slide}{Motivation}
42 \item Ionenimplantation
43 \item Selbstorganisation
44 \item Monte-Carlo-Simulation