8 Atomistic simulation study of the silicon carbide precipitation in silicon\\
16 \selectlanguage{german}
19 Zur Erlangung des akademischen Grades eines\\
20 Doktors der Naturwissenschaften\\
21 der Mathematisch-Naturwissenschaftlichen Fakult"at\\
22 der Universit"at Augsburg vorgelegte
47 Augsburg, im November 2009
57 Erstkorrektor: & Prof. Dr. Bernd Stritzker \\
58 Zweitkorrektor: & Prof. Dr. Kai Nordlund \\
59 Tag der m"undlichen Pr"ufung: & 17. November 2009 \\
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