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\hyphenation{Auf-nah-me kris-tal-lin-en Kohlen-stoff-über-sättigung Selbstorganisationsprozesses kohlen-stoff-in-du-zierte nano-metrisch nano-metrische kris-tal-lin Target-atom Target-atoms Si-mu-la-tions-pa-ra-me-ter ge-startet Stand-ard Im-plan-ta-tions-be-reich Dosis-ent-wick-lung be-obachtete Tar-get-ober-flä-che}

% wer macht was? immer wichtig, auch wenn \maketitle versagt ... ;)
\author{Frank Zirkelbach}
\title{Monte Carlo Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}

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