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\hyphenation{kris-tallin-en Kohlen-stoff-über-sättigung Selbstorganisationsprozesses}

% wer macht was? immer wichtig, auch wenn \maketitle versagt ... ;)
\author{Frank Zirkelbach}
\title{Monte Carlo Simulation des Selbstorganisationsprozesses bei der Bildung nanometrischer $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-Ionen-implantierten Silizium}

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