\chapter{Grundlagen}

  \section{Monte-Carlo-Simulation}

  

  \section{Ion-Festk"orper Wechselwirkung}

  Zur theoretischen Beschreibung der Ionenimplantation mu"s die Wechselwirkung der Ionen mit dem Target betrachtet werden.
  Durch St"o"se mit den Kernen und Elektronen des Targets werden die Ionen im Festk"orper abgebremst, ein entsprechendesImplantationsprofil stellt sich ein.
  Weitere Folgen sind die durch Bestrahlung im Kristallgitter entstehenden Sch"aden.
  Im Folgenden wird darauf genauer eingegangen.

    \subsection{Abbremsung von Ionen}

      \subsubsection{Bremsquerschnitt}

      \subsubsection{Nukleare Bremskraft}

      \subsubsection{Elektronische Bremskraft}

    \subsection{Implantationsprofil}

    \subsection{Strahlensch"aden und Amorphisierung}
