\chapter{Simulation}

  \section{Annahmen der Simulation}

    \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}

    \subsection{Diffusion}

    \subsection{Sputtern}

  \section{Auswertung von {\em TRIM} Ergebnissen}

    \subsection{Implantationsprofil und nukleare Bremskraft}

    \subsection{Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}

  \section{Simulierte Tiefenbereiche}

  \section{Simulationsalgorithmus}

    \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}

    \subsection{Einbau des implantierten Kohlenstoffs ins Target}

    \subsection{Diffusion und Sputtern}

  \section{Ablaufschema}

