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  {\LARGE\bf
  Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium \\
  }

  \vspace{40pt}

  {\large
  Diplomarbeit\\
  von\\
  Frank Zirkelbach \\
  }

  \vspace{30pt}

  \includegraphics[height=3.3cm]{uni-logo.eps} \\

  \vspace{20pt}

  \includegraphics[height=3cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}

  \vspace{20pt}

  {\large
  Lehrstuhl für Experimentalphysik IV\\
  Prof. Dr. Bernd Stritzker\\
  Institut für Physik\\
  Universität Augsburg\\
  }

  \vspace{20pt}

  {\large
  April 2005\\
  }

\end{center}

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