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\begin{document}

\title{Vorstellung der Diplomarbeit}
\subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
\author{Frank Zirkelbach}
\email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
\slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}

\maketitle

\begin{slide}{"Uberblick}
\begin{itemize}
  \item Motivation
  \item Grundlagen
  \item Experimentelle Befunde
  \item Das Modell
  \item Die Simulation
  \item Ergebnisse
  \item Anwendung
  \item Zusammenfassung
\end{itemize}
\end{slide}

\overlays{5}{
\begin{slide}{Ionenimplantation}
Funktionsweise:
\begin{itemstep}
 \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
 \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
 \item Bestrahlung eines Festk"orpers
\end{itemstep}
\FromSlide{4}{$\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten} \\
\vspace{15pt}
\FromSlide{5}{
Industrielle Anwendung:\\
Dotierung von Halbleiterkristallen}
\end{slide}}

\begin{slide}{Ionenimplantation}
Vorteile
\begin{itemize}
 \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
 \item Reproduzierbarkeit
 \item Homogenit"at
 \item Schnelligkeit
 \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
 \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
\end{itemize}
\end{slide}

\begin{slide}{Selbstorganisation}
\begin{tabular}{c}
  \begin{tabular}{lr}
    \includegraphics[width=4cm]{tr.eps} & text...
  \end{tabular} \\
Bolse: swift heavy ions
\end{tabular}
\end{slide}


\end{document}
