\documentclass{beamer}

\mode<presentation>
{
%\usetheme{Berkeley}
\usetheme{Warsaw}
\setbeamercovered{transparent}
}
\usepackage{verbatim}
\usepackage[german]{babel}
\usepackage[latin1]{inputenc}
\usepackage[T1]{fontenc}
\usepackage{amsmath}
\usepackage{ae}
\usepackage{aecompl}
\usepackage{colortbl}
\usepackage{pgf,pgfarrows,pgfnodes,pgfautomata,pgfheaps,pgfshade}
\usepackage{graphicx}
\graphicspath{{../img}}
\usepackage{hyperref}

\begin{document}

\title{Vorstellung der Diplomarbeit}
\subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
\author[F. Zirkelbach]{Frank Zirkelbach \\ \texttt{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}}
\institute{
Institut f"ur Physik\\
Lehrstuhl f"ur Experimentalphysik IV\\
Universit"at Augsburg
}
\date{10. November 2005}
%\pgfdeclareimage[width=1.5cm]{lst-logo}{Lehrstuhl-Logo}
%\logo{\pgfuseimage{lst-logo}}

%\beamerdefaultoverlayspecification{<+->}

\AtBeginSubsection[]
{
  \begin{frame}<beamer>
    \frametitle{"Uberblick}
    \tableofcontents[currentsubsection]
  \end{frame}
}

\begin{frame}
  \titlepage
\end{frame}

\begin{frame}
  \frametitle{"Uberblick}
  \tableofcontents%[pausesections]
\end{frame}

\section{Einf"uhrung}

  \subsection{Ionenimplantation}

\begin{frame}
  \frametitle{Einf"uhrung}
  \framesubtitle{Ionenimplantation}
  \begin{block}{Funktionsweise}
    \begin{itemize}
      \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
      \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
      \item Bestrahlung eines Festk"orpers
    \end{itemize}
  \end{block}
  \onslide<2->
  $\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten
  \begin{block}{Anwendung}
  Dotierung von Halbleiterkristallen
  \end{block}
\end{frame}

\begin{frame}
  \frametitle{Einf"uhrung}
  \framesubtitle{Ionenimplantation}
  \begin{block}{Vorteile}
    \begin{itemize}
      \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
      \item Reproduzierbarkeit
      \item Homogenit"at
      \item Schnelligkeit
      \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
      \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
    \end{itemize}
  \end{block}
\end{frame}

  \subsection{Selbstorganisation}

\begin{frame}
  \frametitle{Einf"uhrung}
  \framesubtitle{Selbstorganisation}
  \begin{columns}
    \column{4.5cm}
      \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh}}
      \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg}}
      \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2}}
    \column{6.5cm}
      \begin{enumerate}
        \item<1-> Riffelformation auf der Targetoberfl"ache
        \item<2-> separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen
        \item<3-> periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen
      \end{enumerate}
  \end{columns}
\end{frame}

\section{Grundlagen}

  \subsection{Abbremsung der Ionen}

\begin{frame}
  \frametitle{Grundlagen}
  \framesubtitle{Abbremsung der Ionen}
     \onslide<2->
     \begin{block}{nuklearer Bremsquerschnitt}
       elastischer Sto"s mit Atomkernen des Targets\\
       $S_n(E) = \int_0^{T_{max}} T d \sigma$
     \end{block}
     \onslide<3->
     \begin{block}{elektronischer Bremsquerschnitt}
       inelastischer Sto"s mit Elektronen des Targets\\
       $S_e(E) = k_L \sqrt{E}$
     \end{block}
     \onslide<4->
     \begin{block}{Bremskraft}
       $- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( S_n(E) + S_e(E) \Big)$
     \end{block}
\end{frame}

  \subsection[TRIM]{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM}

\begin{frame}
  \frametitle{Grundlagen}
  \framesubtitle{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM}
  \begin{block}{Prinzip}
    \begin{itemize}
      \item Verfolgung einer Vielzahl von Teilchenbahnen
      \pause
      \item Start mit gegebener Energie, Position und Richtung
      \pause
      \item Geradlinige Bewegung innerhalb freier Wegl"ange
      \pause
      \item Energieverlust durch St"o"se
      \pause
      \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_d$
      \pause
      \item Abbildung von Zufallszahlen auf:
        \begin{itemize}
           \item freie Wegl"ange $l$
           \item Sto"sparameter $p \quad \Rightarrow$ Ablenkwinkel $\Theta \Rightarrow \Delta E$
           \item Azimutwinkel $\Phi$
        \end{itemize}
    \end{itemize}
  \end{block}
\end{frame}

\section{Experimentelle Befunde}

  \subsection[amorphe Phasen]{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}

\begin{frame}
  \frametitle{Experimentelle Befunde}
  \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
    \begin{center}
      \includegraphics[height=5.5cm]{k393abild1_pres.eps}
    \end{center}
    \begin{center}
      {\scriptsize\bf Hellfeld-TEM-Abbildung: $180 \, keV \, C^+ \rightarrow (100)Si$, $T = 150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $D = 4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
    \end{center}
\end{frame}

\begin{frame}
  \frametitle{Experimentelle Befunde}
  \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
\end{frame}

\begin{frame}
  \frametitle{}
  \framesubtitle{}
\end{frame}

\begin{frame}
  \frametitle{}
  \framesubtitle{}
\end{frame}

\begin{frame}
  \frametitle{}
  \framesubtitle{}
\end{frame}

\begin{frame}
  \frametitle{}
  \framesubtitle{}
\end{frame}

\end{document}
