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\begin{document}

\title{Vorstellung der Diplomarbeit}
\subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
\author{Frank Zirkelbach}
\email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik - Universit"at Augsburg}

\maketitle

\overlays{7}{
\begin{slide}{"Uberblick}
\begin{itemstep}
  \item Motivation
  \item Grundlagen der Ionenimplantation
  \item Experimentelle Befunde
  \item Das Modell
  \item Die Simulation
  \item Ergebnisse
  \item Herstellung breter lamellarer Bereiche
  \item Zusammenfassung
\end{itemstep}
\end{slide}}

\overlays{3}{
\begin{slide}{Motivation}
\begin{itemstep}
 \item Ionenimplantation
 \item Selbstorganisation
 \item Monte-Carlo-Simulation
\end{itemstep}
\end{slide}}


\end{document}
