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[lectures/latex.git] / nlsop / diplom / simulation.tex

diff --git a/nlsop/diplom/simulation.tex b/nlsop/diplom/simulation.tex
index c172d7ac15709b67934f46890ab138d349317e64..5c710e36b83e7cbdbe22cc4d09c4f894eb20fb4a 100644 (file)
--- a/nlsop/diplom/simulation.tex
+++ b/nlsop/diplom/simulation.tex
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 \chapter{Simulation}
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+  \section{Annahmen der Simulation}
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+    \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
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+    \subsection{Diffusion}
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+    \subsection{Sputtern}
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+  \section{Auswertung von TRIM Ergebnissen}
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+    \subsection{Implantationsprofil und nukleare Bremskraft}
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+    \subsection{Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}
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+  \section{Simulierte Tiefenbereiche}
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+  \section{Simulationsalgorithmus}
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+    \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
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+    \subsection{Einbau des implantierten Kohlenstoffs ins Target}
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+    \subsection{Diffusion und Sputtern}
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+  \section{Ablaufschema}
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