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+ \section{Annahmen der Simulation}
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+ \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
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+ \subsection{Diffusion}
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+ \subsection{Sputtern}
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+ \section{Auswertung von TRIM Ergebnissen}
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+ \subsection{Implantationsprofil und nukleare Bremskraft}
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+ \subsection{Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}
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+ \section{Simulierte Tiefenbereiche}
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+ \section{Simulationsalgorithmus}
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+ \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
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+ \subsection{Einbau des implantierten Kohlenstoffs ins Target}
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+ \subsection{Diffusion und Sputtern}
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+ \section{Ablaufschema}
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