+\[
+ \begin{array}{ll}
+ p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\
+ p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a}
+ \end{array}
+\]
+\end{slide}
+
+\begin{slide}
+\section*{Simulation}
+\begin{figure}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[width=7cm]{gitter.eps}
+ \end{center}
+\end{figure}
+Dreiteilung des Simulationsalgorithmus:
+\begin{enumerate}
+ \item Amorphisierung/Rekristallisation
+ \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target
+ \item Diffusionsprozess
+\end{enumerate}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}
+\section*{1) Amorphisierung/Rekristallisation}
+\begin{itemize}
+ \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft
+ \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{ca}$ und $p_{ac}$
+ \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl
+\end{itemize}
+\section*{2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions}
+\begin{figure}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[width=4cm]{sim_window.eps}
+ \end{center}
+\end{figure}
+\begin{itemize}
+ \item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$
+ \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}
+\section*{3) Diffusion}
+Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt.
+\begin{itemize}
+ \item Diffusion im Kristallinen:
+ \[
+ \Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{cc}
+ \]
+ \item Diffusion von kristallinen in amorphe Gebiete:
+ \[
+ \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac}
+ \]
+\end{itemize}
+\section*{variierte Parameter}
+\begin{itemize}
+ \item Schrittzahl
+ \item Amorphisierung beschreibende Parameter
+ \item Diffusionsgeschwindigkeit und Diffusionsrate
+ \item Diffusion in $z$-Richtung
+ \item rein kristalline Diffusion
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}
+\section*{Ergebnisse}
+\begin{itemize}
+ \item Lamellare Strukturen!
+ \item Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen:
+ \begin{itemize}
+ \item hohe Schrittzahl und niedrige Amorphisierungswahrscheinlichkeiten
+ \item Diffusion von Kohlenstoff von kristallinen in amorphe Gebiete, insbesondere in $z$-Richtung
+ \begin{figure}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[height=5cm]{mit_ohne_diff.eps}
+ \end{center}
+ \end{figure}
+ \end{itemize}
+ \end{itemize}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}
+\section*{Ergebnisse}
+Amorph/Kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe, in der erstmals lamellare Ordnung auftritt
+\begin{figure}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[height=6cm]{high_low_ac-diff.eps}
+ \end{center}
+\end{figure}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}
+\section*{Ergebnisse}
+Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander
+folgenden Ebenen
+\begin{figure}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[height=6cm]{z_z_plus_1.eps}
+ \end{center}
+\end{figure}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}
+\section*{Vergleich mit TEM-Aufnahme}
+\begin{figure}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[height=6cm]{if_cmp.eps}
+ \end{center}
+\end{figure}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}
+\section*{Zusammenfassung}
+\begin{itemize}
+ \item Einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen
+ \item lamellare Strukturen durch Simulation nachvollziehbar
+\end{itemize}
+\section*{Ausblick}
+\begin{itemize}
+ \item Zusammenhang zwischen Simulations- und Implantationsparametern
+ \item objektivere Methode zur Messung der lamellaren Struktur (Fouriertransformierte des Realbildes)
+ \item Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung
+\end{itemize}
+\end{slide}