- 1) Amorphisierung/Rekristallisation
-}
-\begin{itemize}
- \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft
- \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$
- \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl
-\end{itemize}
-\vspace{24pt}
-{\large\bf
- 2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions
-}
- \begin{picture}(200,0)(-180,100)
- \includegraphics[width=6cm]{sim_window.eps}
- \end{picture}
-\begin{itemize}
- \item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$
- \item gewichtete Wahl der Koordinaten \\ f"ur Kohlenstofferh"ohung
-\end{itemize}
-\vspace{24pt}
-\end{slide}
-
-\begin{slide}
-{\large\bf
- 3) Diffusion \\
-}
-Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt.
-\begin{itemize}
- \item Diffusion im Kristallinen:
- \[
- \Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{cc}
- \]
- \item Diffusion von kristallinen in amorphe Gebiete:
- \[
- \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac}
- \]
-\end{itemize}
-{\large\bf
- Variierte Parameter
-}
-\begin{itemize}
- \item Schrittzahl
- \item Amorphisierung beschreibende Parameter
- \item Diffusionsgeschwindigkeit und Diffusionsrate
- \item Diffusion in $z$-Richtung
- \item rein kristalline Diffusion
-\end{itemize}
-\end{slide}
-
-\begin{slide}
-{\large\bf
- Ergebnisse