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-\begin{document}
-
\title{Vorstellung der Diplomarbeit}
\subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
-\author{Frank Zirkelbach}
-\email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
-\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
-\slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}
-\Logo{\includegraphics[height=1cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}}
+\author[F. Zirkelbach]{Frank Zirkelbach \\ \texttt{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}}
+\institute{
+Institut f"ur Physik\\
+Lehrstuhl f"ur Experimentalphysik IV\\
+Universit"at Augsburg
+}
+\pgfdeclareimage[height=1cm]{lst-logo}{Lehrstuhl-Logo.eps}
+\logo{\pgfuseimage{lst-logo}}
+
+\begin{document}
-\maketitle
+\begin{frame}
+ \titlepage
+}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{"Uberblick}
+
+\end{frame}
-\overlays{8}{
\begin{slide}{"Uberblick}
-\begin{itemstep}
+\begin{itemize}
\item Motivation
- \item Grundlagen der Ionenimplantation
+ \item Grundlagen
\item Experimentelle Befunde
\item Das Modell
\item Die Simulation
\item Ergebnisse
\item Anwendung
\item Zusammenfassung
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\overlays{5}{
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Funktionsweise:
+\begin{itemstep}
+ \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
+ \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
+ \item Bestrahlung eines Festk"orpers
\end{itemstep}
+\FromSlide{4}{$\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten} \\
+\vspace{15pt}
+\FromSlide{5}{
+Industrielle Anwendung:\\
+Dotierung von Halbleiterkristallen}
\end{slide}}
-\overlays{3}{
-\begin{slide}{Motivation}
-Ionenimplantation
-\begin{itemstep}
- \item exakte Dosierbarkeit
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Vorteile:
+\begin{itemize}
+ \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
\item Reproduzierbarkeit
+ \item Homogenit"at
+ \item Schnelligkeit
\item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
-\end{itemstep}
+ \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\overlays{3}{
+\begin{slide}{Selbstorganisation}
+\begin{tabular}{c}
+ \begin{tabular}{ll}
+ \begin{minipage}{3.5cm}
+ \onlySlide*{1}{\includegraphics[width=3cm]{ripple_bh.eps}}
+ \onlySlide*{2}{\includegraphics[width=3cm]{bin_leg.eps}}
+ \onlySlide*{3}{\includegraphics[width=3cm]{bolse2.eps}}
+ \end{minipage} &
+ \begin{minipage}{7.5cm}
+ \begin{itemstep}
+ \item Entstehung von Riffeln auf der Targetoberfl"ache
+ \item separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen
+ \item periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen
+ \end{itemstep}
+ \end{minipage}
+ \end{tabular} \\
+%\FromSlide{1}{{\footnotesize 1) R. M. Bradley, J. M. E. Harper. J. Vac. Sci. Technol. A6 (1988) 2390\\}}
+%\FromSlide{2}{{\footnotesize 2) R. A. Enrique, P. Bellon. Phys. Rev. Lett. 60 (1999) 14649\\}}
+%\FromSlide{3}{{\footnotesize 3) W. Bolse, B. Schattat, A. Feyh. Appl. Phys. A 77 (2003) 11\\}}
+\end{tabular}
+\end{slide}}
+
+\overlays{2}{
+\begin{slide}{Grundlagen}
+Abbremsung der Ionen
+ \begin{tabular}{ll}
+ \begin{minipage}[l]{5cm}
+ \onlySlide{1}{$- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( {\red S_n(E)} +$ \ldots}
+ \onlySlide{2}{$- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( {\red S_n(E)} + {\blue S_e(E)} \Big)$}
+ \end{minipage} &
+ \begin{minipage}[l]{6cm}
+ \begin{itemstep}
+ \item {\red nukleare Bremskraft}\\
+ elastischer Sto"s mit Atomkernen des Targets
+ \item {\blue elektronische Bremskraft}\\
+ inelastischer Sto"s mit Elektronen des Targets
+ \end{itemstep}
+ \end{minipage}
+ \end{tabular}
\end{slide}}