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authorhackbard <hackbard@sage.physik.uni-augsburg.de>
Tue, 9 Aug 2011 18:16:06 +0000 (20:16 +0200)
committerhackbard <hackbard@sage.physik.uni-augsburg.de>
Tue, 9 Aug 2011 18:16:06 +0000 (20:16 +0200)
posic/thesis/summary_outlook.tex

index 88d022b46f37d56c97bea94cb2b38c778521a03f..c479767a08535dad394b164a4d8e0bfb1a768bb8 100644 (file)
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 {\bf To summarize},
 in a short review of the C/Si compound and the fabrication of the technologically promising semiconductor SiC by IBS, two controversial assumptions of the precipitation mechanism of 3C-SiC in c-Si are elaborated.
-}
 These propose the precipitation of SiC by agglomeration of \ci{} DBs followed by a sudden formation of SiC and otherwise a formation by successive accumulation of \cs{} via intermediate stretched SiC structures, which are coherent to the Si lattice.
 To solve this controversy and contribute to the understanding of SiC precipitation in c-Si, a series of atomistic simulations is carried out.
 In the first part, intrinsic and C related point defects in c-Si as well as some selected diffusion processes of the C defect are investigated by means of first-principles quantum-mechanical calculations based on DFT and classical potential calculations employing a Tersoff-like analytical bond order potential.