]> hackdaworld.org Git - lectures/latex.git/commitdiff
added ion implantation intro
authorhackbard <hackbard>
Thu, 3 Nov 2005 00:05:04 +0000 (00:05 +0000)
committerhackbard <hackbard>
Thu, 3 Nov 2005 00:05:04 +0000 (00:05 +0000)
nlsop/talk/talk_german.tex

index 26967957b7cf137992179fd07243ded68490af2e..4d82a2bac2c2c5f1c0f9a8ca3b4180ec4f47ed74 100644 (file)
@@ -9,7 +9,7 @@
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-\graphicspath{{./}}
+\graphicspath{{../img}}
 \usepackage{hyperref}
 
 \begin{document}
 \usepackage{hyperref}
 
 \begin{document}
 \email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
 \institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
 \slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}
 \email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
 \institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
 \slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}
-\Logo{\includegraphics[height=1cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}}
 
 \maketitle
 
 
 \maketitle
 
-\overlays{8}{
 \begin{slide}{"Uberblick}
 \begin{slide}{"Uberblick}
-\begin{itemstep}
+\begin{itemize}
   \item Motivation
   \item Motivation
-  \item Grundlagen der Ionenimplantation
+  \item Grundlagen
   \item Experimentelle Befunde
   \item Das Modell
   \item Die Simulation
   \item Ergebnisse
   \item Anwendung
   \item Zusammenfassung
   \item Experimentelle Befunde
   \item Das Modell
   \item Die Simulation
   \item Ergebnisse
   \item Anwendung
   \item Zusammenfassung
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\overlays{5}{
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Funktionsweise:
+\begin{itemstep}
+ \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
+ \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
+ \item Bestrahlung eines Festk"orpers
 \end{itemstep}
 \end{itemstep}
+\FromSlide{4}{$\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten} \\
+\vspace{15pt}
+\FromSlide{5}{
+Industrielle Anwendung:\\
+Dotierung von Halbleiterkristallen}
 \end{slide}}
 
 \end{slide}}
 
-\overlays{3}{
-\begin{slide}{Motivation}
-Ionenimplantation
-\begin{itemstep}
- \item exakte Dosierbarkeit
+\begin{slide}{Ionenimplantation}
+Vorteile
+\begin{itemize}
+ \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
  \item Reproduzierbarkeit
  \item Reproduzierbarkeit
+ \item Homogenit"at
+ \item Schnelligkeit
  \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
  \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
-\end{itemstep}
-\end{slide}}
+ \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
+\end{itemize}
+\end{slide}
+
+\begin{slide}{Selbstorganisation}
+\begin{tabular}{c}
+  \begin{tabular}{lr}
+    \includegraphics[width=4cm]{tr.eps} & text...
+  \end{tabular} \\
+Bolse: swift heavy ions
+\end{tabular}
+\end{slide}
 
 
 \end{document}
 
 
 \end{document}