-Bisher wurde ein "Uberblick "uber den derzeitigen Stand des Programms und des zugrunde liegenden Modells gegeben. Zusammenh"ange zwischen Simulationsparametern und physikalischen Gr"o"sen fehlen noch. Um diesen fehlenden Bezug ...
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-- mehr stoesse in einem schritt, damit ein schritt wirklich einem ion entspricht
-- berechnung von kohelnstoffkonzentartionen in flaeche
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+Bisher wurde ein "Uberblick "uber den derzeitigen Stand des Programms und des zugrunde liegenden Modells gegeben. Zusammenh"ange zwischen Simulationsparametern, physikalischen Gr"o"sen und Implantationsparametern fehlen noch. Diese sollen fortf"uhrend erarbeitet werden.
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+Eine Schw"ache des Programms ist die Deutung eines Durchlaufs als implantiertes Teilchen, welches einen Sto"sproze"s ausf"uhrt. Die Tatsache, da"s ein Teilchen jedoch "ofter als einmal st"o"st, wurde durch Erh"ohung einiger Simulationsparameter, welche das Bestreben der Amorphisierung beschreiben kompensiert. Um die Simulationsparameter besser in Zusammenhang mit den Implantationsparametern zu bringen, scheint es sinnvoll, den Simulationscode umzuschreiben, so da"s pro Durchlauf mehrere Sto"sprozesse ausgef"uhrt werden k"onnen.
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+Desweiteren wurden die Versuchsergebnisse mit dem Auge betrachtet und mit TEM Bildern verglichen. Eine weniger subjektive Bewertungsm"oglichkeit w"aren Autokorrelationsfunktionen zur Bestimmung des lamellaren Charakters.
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+Ausserdem soll nach Ver"anderung des Programmcodes der Versuch gemacht werden, die Entwicklung, bis hin zu einer exakten Dosis zu reproduzieren.