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index ba9340f3a2dd1b3669645867356a75cf90cf2ea6..857235d1361261f4032d14242ec25e385189ce96 100644 (file)
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@@ -25,14 +25,14 @@ Im Folgenden sollen einige der experimentellen Ergebnisse bez"uglich der Bildung
   Im rechten Teil von Abbildung \ref{img:xtem_img} sieht man einen vergr"o"serten Ausschnitt der vorderen Grenzfl"ache.
   Man erkennt die regelm"a"sige Anordnung der lamellaren Ausscheidungen ($L$) in Abst"anden, die ungef"ahr der H"ohe der Ausscheidungen selbst entsprechen.
  
   Im rechten Teil von Abbildung \ref{img:xtem_img} sieht man einen vergr"o"serten Ausschnitt der vorderen Grenzfl"ache.
   Man erkennt die regelm"a"sige Anordnung der lamellaren Ausscheidungen ($L$) in Abst"anden, die ungef"ahr der H"ohe der Ausscheidungen selbst entsprechen.
  

-  \begin{figure}[h]
+  \begin{figure}[!h]

   \begin{center}
   \includegraphics[width=8cm]{a-d.eps}
   \end{center}
   \caption{Mittels TEM bestimmte Position und Ausdehnung amorpher Phasen in bei $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ implantierten Proben in Abh"angigkeit von der implantierten Dosis. \cite{maik_da}}
   \label{img:lua_vs_d}
   \end{figure}
   \begin{center}
   \includegraphics[width=8cm]{a-d.eps}
   \end{center}
   \caption{Mittels TEM bestimmte Position und Ausdehnung amorpher Phasen in bei $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ implantierten Proben in Abh"angigkeit von der implantierten Dosis. \cite{maik_da}}
   \label{img:lua_vs_d}
   \end{figure}

-  \begin{figure}[h]
+  \begin{figure}[!h]

   \includegraphics[width=12cm]{temdosisai1.eps}
   \caption{Hellfeld-TEM-Abbildung der Schichtstruktur der bei $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ implantierter Proben mit Dosen von: $a)$ $1,0$, $b)$ $2,1$, $c)$ $3,3$ und $d)$ $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$. \cite{maik_da}}
   \label{img:temdosis}
   \includegraphics[width=12cm]{temdosisai1.eps}
   \caption{Hellfeld-TEM-Abbildung der Schichtstruktur der bei $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ implantierter Proben mit Dosen von: $a)$ $1,0$, $b)$ $2,1$, $c)$ $3,3$ und $d)$ $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$. \cite{maik_da}}
   \label{img:temdosis}


@@ -63,17 +63,17 @@ Im Folgenden sollen einige der experimentellen Ergebnisse bez"uglich der Bildung
   Die Dicke der durchgehenden Schicht nimmt mit steigender Temperatur ab.
   Dies deutet auf eine erleichterte Rekristallisation bereits amorphisierten Siliziums beziehungsweise erschwerte Amorphisierung kristallinen Siliziums bei ho"heren Temperaturen hin.
   Auff"allig ist weiterhin die Ausdehnung der amorphen Schicht um das Kohlenstoffverteilungsmaximum.
   Die Dicke der durchgehenden Schicht nimmt mit steigender Temperatur ab.
   Dies deutet auf eine erleichterte Rekristallisation bereits amorphisierten Siliziums beziehungsweise erschwerte Amorphisierung kristallinen Siliziums bei ho"heren Temperaturen hin.
   Auff"allig ist weiterhin die Ausdehnung der amorphen Schicht um das Kohlenstoffverteilungsmaximum.

-  Die Kohlenstoffkonzentrationen an der vorderen Grenzfl"ache  f"ur $150 \, ^{circ} \mathrm{C}$ betr"agt $15 at.\%$, bei $200 \, ^{circ} \mathrm{C}$ $20 at.\%$ und bei $250 \, ^{circ} \mathrm{C}$ $25 at.\%$.
+  Die Kohlenstoffkonzentrationen an der vorderen Grenzfl"ache  f"ur $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ betr"agt $15 at.\%$, bei $200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ $20 at.\%$ und bei $250 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ $25 at.\%$.

   Dies weist auf einen Beitrag des Kohlenstoffs zur Amorphisierung hin, der f"ur h"ohere Temperaturen auf Grund der erschwerten Amorphisierung ansteigen muss um Amorphisierung zu beg"unstigen.
 
   \section{Kohlenstoffverteilung}
 
   \begin{figure}[h]
   \includegraphics[width=12cm]{eftem.eps}
   Dies weist auf einen Beitrag des Kohlenstoffs zur Amorphisierung hin, der f"ur h"ohere Temperaturen auf Grund der erschwerten Amorphisierung ansteigen muss um Amorphisierung zu beg"unstigen.
 
   \section{Kohlenstoffverteilung}
 
   \begin{figure}[h]
   \includegraphics[width=12cm]{eftem.eps}

-  \caption{$a)$ Hellfeld- und $b)$ Elementverteilungsaufnahme der vorderen Grenzschicht einer mit $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ bei $200 \, ^{circ} \mathrm{C}$ implantierten Probe. Amorphe Bereiche in der Hellfeldaufnahme erscheinen hell, hohe Kohlenstoffkonzentrationen in der Elementverteilungsaufnahme sind gelb, niedrige blau. \cite{maik_da}}
+  \caption{$a)$ Hellfeld- und $b)$ Elementverteilungsaufnahme der vorderen Grenzschicht einer mit $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ bei $200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ implantierten Probe. Amorphe Bereiche in der Hellfeldaufnahme erscheinen hell, hohe Kohlenstoffkonzentrationen in der Elementverteilungsaufnahme sind gelb, niedrige blau. \cite{maik_da}}

   \label{img:eftem}
   \end{figure}
   Im letzten Abschnitt wurde deutlich, dass die Amorphisierung stark abh"angig von der Implantationstemperatur ist.
   \label{img:eftem}
   \end{figure}
   Im letzten Abschnitt wurde deutlich, dass die Amorphisierung stark abh"angig von der Implantationstemperatur ist.

-  Da in dem hier verwendeten Temperaturen zwischen $150$ bis $250 \, ^{circ} \mathrm{C}$ f"ur geringere Dosen kaum Amorphisierung zu erwarten ist \cite{linnross}, muss sehr viel Kohlenstoff implantiert werden, was letztendlich zur Nukleation kohlenstoffreicher amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen f"uhrt \cite{kennedy}.
-  Dies wird durch die Gegen"uberstellung (Abbildung \ref{img:eftem}) einer Hellfeldaufnahme mit einer zugeh"origen, durch energiegefiltertes TEM gewonnene Elementverteilungsaufnahme einer bei $200 \, ^{circ} \mathrm{C}$ und sonst gleichen Bedingungen implantierten Probe best"atigt.
+  Da in dem hier verwendeten Temperaturen zwischen $150$ bis $250 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ f"ur geringere Dosen kaum Amorphisierung zu erwarten ist \cite{linnross}, muss sehr viel Kohlenstoff implantiert werden, was letztendlich zur Nukleation kohlenstoffreicher amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen f"uhrt \cite{kennedy}.
+  Dies wird durch die Gegen"uberstellung (Abbildung \ref{img:eftem}) einer Hellfeldaufnahme mit einer zugeh"origen, durch energiegefiltertes TEM gewonnene Elementverteilungsaufnahme einer bei $200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ und sonst gleichen Bedingungen implantierten Probe best"atigt.

   Die lamellaren amorphen Bereiche weisen eine erh"ohte Kohlenstoffkonzentration im Gegensatz zu den kristallinen Bereichen auf.
   Die lamellaren amorphen Bereiche weisen eine erh"ohte Kohlenstoffkonzentration im Gegensatz zu den kristallinen Bereichen auf.

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index 3da00802ed11e895c79d132e8389286d5a05537b..5913be7cc5d19a727c915ffdedbc27ca168c04c0 100644 (file)
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@@ -33,10 +33,11 @@
   \bibitem{lindner_appl_phys} J. K. N. Lindner. Appl. Phys. A 77 (2003) 27.
   \bibitem{linnross} J. Linnross, R. G. Elliman, W. L. Brown. J. Matter. Res. 3 (1988) 1208.
   \bibitem{kennedy} E. F. Kennedy, L. Csepregi, J. W. Mayer. J. Appl. Phys. 48 (1977) 4241.
   \bibitem{lindner_appl_phys} J. K. N. Lindner. Appl. Phys. A 77 (2003) 27.
   \bibitem{linnross} J. Linnross, R. G. Elliman, W. L. Brown. J. Matter. Res. 3 (1988) 1208.
   \bibitem{kennedy} E. F. Kennedy, L. Csepregi, J. W. Mayer. J. Appl. Phys. 48 (1977) 4241.

+  \bibitem{basic_phys_proc} J. K. N. Lindner. Nucl. Instr. and Meth. B 178 (2001) 44.

   \bibitem{taylor} W. J. Taylor, T. Y. Tan, U. G"osele. Appl. Phys. Lett. 62 (1993) 3336.
   \bibitem{eftem_tbp} M. H"aberlen, J. K. N. Lindner, B. Stritzker. to be published.
   \bibitem{taylor} W. J. Taylor, T. Y. Tan, U. G"osele. Appl. Phys. Lett. 62 (1993) 3336.
   \bibitem{eftem_tbp} M. H"aberlen, J. K. N. Lindner, B. Stritzker. to be published.

-  \bibitem{maik_temper} M. H"aberlen, J. K. N. Lindner. B. Stritzker. Nucl. Instr. Meth. B 206 (2003) 916.
-  \bibitem{horton} L. L. Horton, J. Bentley, L. Romana, A. Perez, C. J. McHargue, J. C. McCallum. Nucl. Instr. and Meth. B 65 (1992) 345.
+  \bibitem{maik_temper} M. H"aberlen, J. K. N. Lindner. B. Stritzker. Nucl. Instr. and Meth. B 206 (2003) 916.
+  \bibitem{horton} L. L. Horton, J. Bentley, L. Romana, A. Perez, C. J. McHargue, J. C. McCallum. nucl. Instr. and Meth. B 65 (1992) 345.

   \bibitem{skorupa} W. Skorupa, V. Heera, Y. Pacaud, H. Weishart in: F. Priolo, J. K. N. Lindner, A. Nylandsted Larsen, J. M. Poate (Eds.). New Trends in Ion Beam Processing of Materials. Europ. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 65 Part 1. Elsevier Amsterdamm (1977) 114.
   \bibitem{reiber} J. K. N. Lindner, W. Reiber, B. Stritzker. Mater. Sci. Forum 264-268 (1998) 215-218.
 \end{thebibliography}
   \bibitem{skorupa} W. Skorupa, V. Heera, Y. Pacaud, H. Weishart in: F. Priolo, J. K. N. Lindner, A. Nylandsted Larsen, J. M. Poate (Eds.). New Trends in Ion Beam Processing of Materials. Europ. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 65 Part 1. Elsevier Amsterdamm (1977) 114.
   \bibitem{reiber} J. K. N. Lindner, W. Reiber, B. Stritzker. Mater. Sci. Forum 264-268 (1998) 215-218.
 \end{thebibliography}

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index 78563c276363fc6b10cf16690c13bd2c5d187cef..e41c515c71afd3c25f780d5c24dfd81f3f34e282 100644 (file)
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@@ -4,7 +4,7 @@
   %\section{Formulierung des Modells}
 
   Im Folgenden soll auf das Modell zur Bildung dieser geordneten amorphen Ausscheidungen eingegangen werden.
   %\section{Formulierung des Modells}
 
   Im Folgenden soll auf das Modell zur Bildung dieser geordneten amorphen Ausscheidungen eingegangen werden.

-  Es wurde erstmals in \cite{vorstellung_modell} vorgestellt.
+  Es wurde erstmals in \cite{basic_phys_proc} vorgestellt.

   Die Idee des Modells ist schematisch in Abbildung \ref{img:modell} gezeigt.
   \begin{figure}[h]
   \includegraphics[width=12cm]{model1_s_german.eps}
   Die Idee des Modells ist schematisch in Abbildung \ref{img:modell} gezeigt.
   \begin{figure}[h]
   \includegraphics[width=12cm]{model1_s_german.eps}