\includegraphics[width=3.3cm]{tem_3c-sic.eps}
\end{minipage}
\begin{minipage}{9cm}
- Bereich ums Implantationsmaximum\\
+ Bereich um das Implantationsmaximum\\
Moir\'e-Kontrast-Muster\\
$\rightarrow$ inkoh"arente 3C-SiC-Ausscheidungen in c-Si-Matrix
\end{minipage}
NN-Abstand in 3C-SiC\\
\underline{C-C, 0.31 nm}:\\
C-C Abstand in 3C-SiC\\
- vekettete, verschieden orientierte 100 C-Si DBs\\
+ verkettete, verschieden orientierte 100 C-Si DBs\\
\underline{Si-Si, $\sim$ 0.31 nm}:\\
g(r) erh"oht, Si-Si in 3C-SiC\\
Intervall entspricht C-C Peakbreite\\
\end{minipage}
\begin{minipage}{6.3cm}
\begin{center}
- Dosirate: C auf einmal hinzugef"ugt\\
+ Dosisrate: C auf einmal hinzugef"ugt\\
\end{center}
\includegraphics[width=5.9cm]{1250_12_notrelax_pc.ps}
\includegraphics[width=5.9cm]{1250_12_notrelax_ba.ps}