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index cee4c60459ae502905f5a3eb0caeaa9133bccc27..d3596173b08f735700f6853ebad3756f334abb80 100644 (file)
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@@ -29,7 +29,7 @@ Die Annahme, dass es sich bei diesen amorphen Einschl"ussen um kohlenstoffreiche
 Die Einschl"usse werden daher als amorphe $SiC_x$-Ausscheidungen bezeichnet.
 Mit zunehmender Dosis wird die geordnete Struktur der Ausscheidungen sch"arfer.
 Es handelt sich um einen Selbstorganisationsprozess.
-Ein Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges ist in \cite{chef_habil,vorstellung_modell} vorgestellt.
+Ein Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges ist in \cite{vorstellung_modell,chef_habil} vorgestellt.
 In \cite{da_martin_s,maik_da} wurden erstmals ausf"uhrliche experimentelle Untersuchungen zum Bildungs- und Ausheilverhalten dieser nanometrischen amorphen Einschl"usse durchgef"uhrt.
 
 Neben der Kohlenstoffimplantation in Silizium findet man "ahnliche Selbstorganisationsvorg"ange auch in anderen Materialsystemen, wie zum Beispiel Hoch-dosis-Sauerstoffimplantation in Silizium \cite{van_ommen}, $Ar^+$ in Saphir \cite{specht} und $Si^+$ in $SiC$ \cite{ishimaru}.
@@ -38,10 +38,10 @@ Ist dies der Fall, so ist die Selbstorganisation, unabh"angig vom Materialsystem
 
 Die folgende Arbeit beschreibt die Umsetzung des Modells in einen Monte-Carlo-Simulationscode, mit dessen Hilfe der Selbstorganisationsvorgang genauer untersucht und verstanden werden soll.
 Die Simulation bietet hierbei entscheidende Vorteile.
-Die Berechnung eines Implantationsergebnisses anhand des Modells ist nicht ohne weiteres m"oglich.
-Mittels eines Computer-Experimentes k"onnen Vorhersagen angestellt werden.
+Die Vorhersage eines Implantationsergebnisses anhand des Modells ist nicht ohne weiteres m"oglich.
+Mittels eines Computer-Experimentes k"onnen die aus dem Modell resultierenden Ergebnisse berechnet und mit den experimentellen Ergebnissen verglichen werden.
 Durch Variation von Parametern k"onnen die Einfl"usse der zur Amorphisierung beitragenden Mechanismen ver"andert und deren Auswirkung auf das System beobachtet werden.
-Desweiteren ist es sehr einfach m"oglich, an pr"azise Informationen "uber die Struktur und Zusammensetzung des Targets w"ahrend der Implantation zu gelangen.
+Desweiteren ist es sehr einfach m"oglich, an pr"azise Informationen "uber die Struktur und Zusammensetzung des Targets w"ahrend der Implantation zu gelangen, was durch experimentelle Messungen nur sehr schwer oder garnicht m"oglich ist.
 Monte-Carlo-Rechnungen bieten den Vorteil, dass sie im Gegensatz zu sogenannten molekulardynamischen Berechnungen sehr viel weniger rechenzeitintensiv sind, da im letztgenannten die Bewegung des Ions in dem Festk"orper durch L"osen der klassischen Bewegungsgleichungen errechnet wird.
 Weiterhin bieten sie den Vorteil, dass die physikalischen Vorg"ange weitgehend ohne einschr"ankende Annahmen behandelt werden k"onnen.
 

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index 590e2c393d1540f9a5a450ebc0abebdc1adcb3b5..cce9ce802791812850e65555e4bd224f8eb99102 100644 (file)
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@@ -10,6 +10,9 @@
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@@ -22,9 +25,6 @@
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