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authorhackbard <hackbard>
Mon, 7 Nov 2005 16:41:22 +0000 (16:41 +0000)
committerhackbard <hackbard>
Mon, 7 Nov 2005 16:41:22 +0000 (16:41 +0000)
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index 8d4b5defc70cf42ae7b2021d5dc61ea3c8888574..e4b5d0d4225c0aa12a45c59b9bf2747b0ce79edf 100644 (file)
@@ -291,7 +291,7 @@ Universit"at Augsburg
   \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallsiation}
   \begin{block}{Rekristallisationswahrscheinlichkeit}
     \[
-    p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( \frac{1 - \sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big)
+    p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( 1 - \frac{\sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big)
     \]
     mit\\
     \[
@@ -309,7 +309,6 @@ Universit"at Augsburg
 \begin{frame}
   \frametitle{Simulation}
   \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation}
-  \pause
   \begin{block}{Sto"skoordinaten}
     \begin{itemize}
       \item $x,y$ gleichverteilt
@@ -384,6 +383,25 @@ Universit"at Augsburg
 
   \subsection{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe}
 
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Simulation, Version 1}
+  \begin{block}{Eigenschaften}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item Linear gen"ahertes Implantations- und Bremskraftprofil
+      \pause
+      \item Ein W"urfel-Treffer pro Ion
+      \pause
+      \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit unabh"angig von direkter Nachbarschaft
+      \pause
+      \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$
+      \pause
+      \item Kein Sputtervorgang
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Erste Simulationen}
@@ -420,19 +438,27 @@ Universit"at Augsburg
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$}
-  \begin{center}
-    \includegraphics[width=10cm]{low_to_high_dv.eps}
-    %\includegraphics[width=10cm]{ls_dv_cmp.eps}
-  \end{center}
+  \begin{columns}
+    \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps}
+    \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ls_dv_cmp.eps}
+  \end{columns}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung}
-  \begin{center}
-    \includegraphics[width=10cm]{high_to_low_a.eps}
-    %\includegraphics[width=10cm]{ps_einfluss_ls.eps}
-  \end{center}
+  \begin{columns}
+    \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps}
+    \column{4cm}
+      \includegraphics[width=4cm]{ps_einfluss_ls.eps}
+      \begin{center}
+      \scriptsize{
+      a) $p_s=0.002$\\
+      b) $p_s=0.003$\\
+      c) $p_s=0.004$\\
+      }
+      \end{center}
+  \end{columns}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
@@ -444,11 +470,88 @@ Universit"at Augsburg
   \end{columns}
 \end{frame}
 
-  \subsection{Simulation "uber den gesamten Tiefenbereich}
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Zusammenfassung, Version 1}
+  \begin{itemize}
+    \item Modell/Simulation reproduziert die Bildung geordneter Lamellenstrukturen
+    \item Bildungsprozess nachvollziehbar durch die Simulation
+    \item hohe Anzahl an Simulationsdurchl"aufen,\\
+          kleine Amorphisierungswahrscheinlichkeiten
+    \item Diffusion essentiell, insbesondere die Diffusion in $z$-Richtung
+    \item hoher Beitrag durch kohlenstoffinduzierte Amorphisierung
+    \item Kohlenstoffverteilung im Einklang mit EFTEM-Aufnahme
+  \end{itemize}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Simulation, Version 2}
+  \begin{block}{Eigenschaften}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item exaktes TRIM Implantations- und Bremskraftprofil
+      \pause
+      \item mittlere Anzahl W"urfel-Treffer pro Ion aus TRIM
+      \pause
+      \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit abh"angig von direkter Nachbarschaft
+      \pause
+      \item Tiefenbereich $0 - 700 \, nm$
+      \pause
+      \item Sputtervorgang
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=10cm]{dosis_entwicklung_ng1-2.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=10cm]{dosis_entwicklung_ng2-2.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Ergebnisse}
   \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
+  \begin{columns}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{position_al.eps}
+      \begin{center}
+      {\scriptsize Simulation}
+      \end{center}
+    \column{6cm}
+      \includegraphics[width=6cm]{a-d.eps}
+      \begin{center}
+      {\scriptsize Experiment}
+      \end{center}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=6cm]{ac_cconc_ver2_new_pres.eps}
+  \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Variation der Simulationsparameter}
+  \begin{center}
+    \includegraphics[width=9cm]{var_sim_paramters.eps}
+  \end{center}
 \end{frame}
 
   \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur}