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index 565c033fa9bd485f133e15d52a648aa3e411774d..6eaa8d2925a15df86660c39eb33dac856a48a5bf 100644 (file)
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@@ -294,9 +294,11 @@ Im Anschluss werden die Simulationen "uber den gesamten Implantationsbereich dis
     \label{img:carbon_sim}
     \end{figure}
     Im Folgenden sollen die Kohlenstofftiefenprofile betrachtet und mit experimentell gewonnenen Daten aus \cite{maik_da}, die mittels Rutherford-R"uckstreu-Spektroskopie bestimmt wurden, verglichen werden.
-    Abbildung \ref{img:carbon_sim} zeigt die, aus den Simulationsergebnissen gewonnenen Kohlenstoffverteilungen in Abh"angigkeit der Tiefe f"ur verschiedenen Dosen.
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+    Abbildung \ref{img:carbon_sim} zeigt die, aus den Simulationsergebnissen gewonnenen Kohlenstoffverteilungen in Abh"angigkeit der Tiefe f"ur verschiedene Dosen.
     Auff"allig ist die Verschiebung des Kohlenstoffmaximums mit steigender Dosis.
     Diese ist durch das Absputtern der Oberfl"ache zu erkl"aren.
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     EDIT: rbs daten, unterschied -> erklaerung des shifts