From: hackbard Date: Tue, 22 Feb 2005 22:02:51 +0000 (+0000) Subject: little more work done ... *sigh* X-Git-Url: https://hackdaworld.org/cgi-bin/gitweb.cgi?a=commitdiff_plain;h=d1f5f717bc5f7c4f7f6dfa082f4c8b7974581639;p=lectures%2Flatex.git little more work done ... *sigh* --- diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex index d6ba2de..62a6d3b 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex @@ -49,7 +49,7 @@ \end{figure} \begin{center} \large\bf - Monte-Carlo-Simulation zur Untersuchung des Selbstorganisationsvorganges bei der Bildung von $SiC_x$-Ausscheidungs-Arrays in $C^+$-Ionen-implantiertem Silizium + Kinetik des Selbstorganisationsvorgangs bei der Bildung von $SiC_x$-Ausscheidungs-Arrays in $C^+$-Ionen-implantiertem Silizium \end{center} \begin{center} F. Zirkelbach, M. H"aberlen, J. K. N. Lindner und B. Stritzker @@ -81,6 +81,7 @@ \end{center} \end{figure} \begin{itemize} + \small \item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung @@ -92,44 +93,46 @@ \begin{slide} {\large\bf - Annahmen/N"aherungen + Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit } -\begin{figure} - \begin{picture}(200,0)(-140,80) - \includegraphics[width=7cm]{2pTRIM180C.eps} - %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps} - \end{picture} -\end{figure} +Beitr"age zur Amorphisierung \begin{itemize} - \item nukleare Bremskraft und \\ Konzentrationsprofil linear gen"ahert - \item Wahrscheinlichkeit der \\ Amorphisierung $\propto$ nukleare Bremskraft - \item lokale Amorphisierungswahrscheinlichkeit $\propto$ - \[ - \left\{ - \begin{array}{lll} - \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{mittlerer nuklearer Bremskraft}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische Amorphisierung}, } & b_{ap} \\ - \textrm{\textcolor{red}{lokale Kohlenstoffkonzentration}} & \equiv \textrm{\textcolor{red}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}, } & a_{cp} \\ - \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{Druckspannungen}} & \equiv \textrm{\textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduzierte Amorphisierung}, } & a_{ap} - \end{array} \right . - \] + \item \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch} + \item \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert} + \item \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert} \end{itemize} +Berechnung der Wahrscheinlichkeiten \[ \begin{array}{ll} - p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =\textcolor[rgb]{0,1,1}{b_{ap}} + \textcolor{red}{a_{cp} \times c^{lokal}_{Kohlenstoff}} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{Kohlenstoff}}{Abstand\,^2}}\\ - p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} + \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} + \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\ + p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit} \\ \end{array} \] +\begin{displaymath} + \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll} + 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\ + 0 & \textrm{sonst} \\ + \end{array} \right. +\end{displaymath} \end{slide} \begin{slide} {\large\bf Simulation } -\begin{figure} - \begin{center} - \includegraphics[width=7cm]{gitter.eps} - \end{center} -\end{figure} + + \includegraphics[width=7cm]{gitter_oZ.eps} + %\includegraphics[width=7cm]{2pTRIM180C.eps} + %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps} +\begin{tabular}{cc} +Version 1 & Version 2 \\ +\hline{} +$64 \times 64 \times 100$ Zellen & $64 \times 64 \times 233$ Zellen \\ +foo & bar \\ +\end{tabular} +\end{slide} + +\begin{slide} Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \begin{enumerate} \item Amorphisierung/Rekristallisation