From: hackbard Date: Fri, 30 May 2003 15:46:25 +0000 (+0000) Subject: oups ;) X-Git-Url: https://hackdaworld.org/cgi-bin/gitweb.cgi?a=commitdiff_plain;h=ddd3c939665b179efdd912719614742fb3ca1a35;p=lectures%2Flatex.git oups ;) --- diff --git a/nlsop/nlsop.tex b/nlsop/nlsop.tex index 91c1923..1d1bc26 100644 --- a/nlsop/nlsop.tex +++ b/nlsop/nlsop.tex @@ -122,7 +122,7 @@ wobei: \] Integration "uber alle alle m"oglichen Energien $T_n$, gewichtet mit deren Wahrscheinlichkeit liefert Bremsquerschnitt $S_n$: \[ - S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \partial \sigma(E,T_n) + S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \sigma(E,T_n) \partial \sigma \] \end{slide} @@ -135,10 +135,10 @@ wobei $\phi$ Abschirmfunktion darstellt. \end{slide} \begin{slide} -\slideheading{Implanationsprofil} +\slideheading{Implantationsprofil} Wegen Richtungs"anderungen der Ionen: \[ - R \neq \textrm{mittlere Implanationstiefe} + R \neq \textrm{mittlere Implantationstiefe} \] N"aherung des Konzentartionsprofils durch Gau"sverteilung: \[ @@ -155,7 +155,7 @@ mit: \end{slide} \begin{slide} -Ionisationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM): +Implantationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM): \\ bild von maik requesten... \end{slide} @@ -178,7 +178,7 @@ Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (ledig \end{slide} \begin{slide} -\section{Nannolamelare Selbstordnungsprozesse} +\section{Nanolamelare Selbstordnungsprozesse} \end{slide} \begin{slide} @@ -186,7 +186,7 @@ Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (ledig Parameter: \begin{itemize} \item niedrige Targettemperaturen, $T < 400$ Grad Celsius - \item Implanation in $(100)$-orientiertes Silizium + \item Implantation in $(100)$-orientiertes Silizium \end{itemize} Beobachtungen an oberer Grenzfl"ache zur amorphen Schicht:\\ $\rightarrow$ Bildung amorpher lamellarer Strukturen