\chapter{Ergebnisse}

  \section{Simulation bis $300 nm$ Tiefe}

    \subsection{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme}

    \subsection{Notwendigkeit der Diffusion}

    \subsection{Einfluss der Druckspannungen}

    \subsection{Verteilung des Kohlenstoffs im Target}

  \section{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}

    \subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}

    \subsection{Variation der Simulationsparameter}

    \subsection{Kohlenstoffverteilung}

    \subsection{Variation der Ion-Target-Kombination}

