\chapter{Ergebnisse}
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+ \section{Simulation bis $300 nm$ Tiefe}
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+ \subsection{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme}
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+ \subsection{Notwendigkeit der Diffusion}
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+ \subsection{Einfluss der Druckspannungen}
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+ \subsection{Verteilung des Kohlenstoffs im Target}
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+ \section{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
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+ \subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}
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+ \subsection{Variation der Simulationsparameter}
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+ \subsection{Kohlenstoffverteilung}
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+ \subsection{Variation der Ion-Target-Kombination}
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