-Die Arbeit ist wie folgt aufgebaut. In Kapitel 2 werden die n"otigen Grundlagen der Ionen-Festk"orper Wechselwirkung wiederholt und eine kurze Einf"uhrung in das Konzept der Monte-Carlo-Simulation gegeben.
-Danach wird das Modell konkret formuliert.
-In Kapitel 4 wird die Implementierung des vorher vorgestellten Modells behandelt.
-Nach der Diskussion der Ergebnisse in Kapitel 5 schliesst die Arbeit mit einer Zusammenfassung und einem Ausblick in Kapitel 6.
+Au"ser bei der Kohlenstoffimplantation in Silizium findet man "ahnliche Selbstorganisations-vorg"ange auch in anderen Materialsystemen, wie zum Beispiel bei Hochdosis"=Sauerstoffimplantationen in Silizium \cite{van_ommen} und der Bestrahlung von Saphir mit $Ar^+$-Ionen \cite{specht} sowie von $SiC$ mit $Si^+$-Ionen \cite{ishimaru}.
+Allen Systemen gemeinsam ist eine drastische Dichtereduktion des Substratmaterials bei der Amorphisierung, was im Rahmen der vorliegenden Modellvorstellung auch wesentlich zur Selbstorganisation beitr"agt.
+Ist dies der Fall, so ist die Selbstorganisation ein Ph"anomen, das f"ur eine Vielzahl von Substratmaterialien zu erwarten w"are.
+
+Die folgende Arbeit beschreibt die Umsetzung des Modells aus \cite{vorstellung_modell,chef_habil} in einen Monte"=Carlo"=Simulationscode, mit dessen Hilfe der Selbstorganisationsvorgang genauer untersucht und verstanden werden soll.
+Die Simulation bietet hierbei entscheidende Vorteile.
+Mittels eines Computerexperimentes k"onnen aus dem Modell resultierende Vorhersagen konkret berechnet und mit den experimentellen Ergebnissen verglichen werden.
+Durch Variation von Modellparametern k"onnen die Einfl"usse der zur Amorphisierung beitragenden Mechanismen in ihrer St"arke ver"andert und deren Auswirkung auf die sich einstellende Ordnung beobachtet werden.
+Desweiteren ist es sehr einfach m"oglich, an pr"azise Informationen "uber die Struktur und Zusammensetzung des Targets w"ahrend der Implantation zu gelangen, was durch experimentelle Messungen nur unter gro"sem Aufwand oder "uberhaupt nicht m"oglich ist.
+Monte-Carlo-Rechnungen bieten gegen"uber molekulardynamischen Berechnungen den Vorteil, dass sie weniger rechenzeitintensiv sind.
+Weiterhin bieten sie den Vorteil, dass die physikalischen Vorg"ange, im Sinne eines Gedankenexperimentes, weitgehend ohne einschr"ankende Annahmen behandelt werden k"onnen.
+
+Die Arbeit ist wie folgt aufgebaut.
+In Kapitel \ref{chapter:grundlagen} werden die n"otigen Grundlagen der Ion-Festk"orper-Wechselwirkung zusammengefasst und eine kurze Einf"uhrung in das Konzept der Monte-Carlo-Simulation gegeben.
+In Kapitel \ref{chapter:exp_befunde} werden einige der experimentellen Befunde aus \cite{maik_da} zur Bildung amorpher Ausscheidungen zusammengefasst.
+Danach wird in Kapitel \ref{chapter:modell} das Modell konkret formuliert.
+In Kapitel \ref{chapter:simulation} wird die Implementierung des vorgestellten Modells behandelt.
+Im zentralen Kapitel \ref{chapter:ergebnisse} werden die Ergebnisse der Simulation vorgestellt und diskutiert.
+Die Arbeit schlie"st mit einer Zusammenfassung und einem Ausblick in Kapitel \nolinebreak[4]\ref{chapter:z_und_a}.