- \section{Ablaufschema}
-
- Das Ablaufschema ist aus Platzgr"unden in zwei Teile gegliedert.
- Abbildung \ref{img:flowchart1} zeigt das Ablaufschema des Amorphisierungs- und Rekristallisationsvorgangs.
- In Abbildung \ref{img:flowchart2} wird der Kohlenstoffeinbau sowie Diffusion und Sputtern behandelt.
-
- \begin{figure}[h]
- \begin{pspicture}(0,0)(12,18)
-
- \rput(6,18){\rnode{start}{\psframebox{{\em NLSOP} Start}}}
-
- \rput(6,16){\rnode{random1}{\psframebox{\parbox{7.5cm}{
- Ausw"urfeln der Zufallszahlen:\\
- $R_1$, $R_2$, $R_3$ entsprechend nuklearer Bremskraft\\
- $R_4 \in [0,1[$
- }}}}
- \ncline[]{->}{start}{random1}
-
- \rput(6,14){\rnode{koord_wahl}{\psframebox{\parbox{7.5cm}{
- Bestimmung von $\vec{r}(k,l,m)$ durch Abbildung von $R_1$, $R_2$ und $R_3$ auf $k$, $l$ und $m$
- }}}}
- \ncline[]{->}{random1}{koord_wahl}
-
- \rput(6,11){\rnode{berechnung_pca}{\psframebox{\parbox{12cm}{
- Berechnung von $p_{c \rightarrow a}(\vec{r})$ und $p_{a \rightarrow c}(\vec{r})$:
- \[
- \begin{array}{lll}
- p_{c \rightarrow a}(\vec r) & = & p_{b} + p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r) + \sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2} \\
- p_{a \rightarrow c}(\vec r) & = & (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \Big(1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big)
- \end{array}
- \]
- \[
- \delta (\vec r) = \left\{
- \begin{array}{ll}
- 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
- 0 & \textrm{sonst} \\
- \end{array}
- \right.
- \]
- }}}}
- \ncline[]{->}{koord_wahl}{berechnung_pca}
-
- \rput(6,8){\rnode{status}{\psframebox{Volumen $\vec{r}(k,l,m)$ amorph?}}}
- \ncline[]{->}{berechnung_pca}{status}
-
- \rput(3,6){\rnode{cryst}{\psframebox[linestyle=solid,linecolor=blue]{$R_4 \le p_{c \rightarrow a}$?}}}
- \rput(9,6){\rnode{amorph}{\psframebox[linestyle=solid,linecolor=red]{$R_4 \le p_{a \rightarrow c}$?}}}
- \ncline[]{->}{status}{cryst}
- \lput*{0}{nein}
-
- \ncline[]{->}{status}{amorph}
- \lput*{0}{ja}
-
- \rput(3,4){\rnode{do_amorph}{\psframebox[linestyle=solid,linecolor=red]{Setze Volumen amorph}}}
- \ncline[]{->}{cryst}{do_amorph}
- \lput*{0}{ja}
-
- \rput(9,4){\rnode{do_cryst}{\psframebox[linestyle=solid,linecolor=blue]{Setze Volumen kristallin}}}
- \ncline[]{->}{amorph}{do_cryst}
- \lput*{0}{ja}
-
- \rput(6,3){\rnode{check_h}{\psframebox{Anzahl der Durchl"aufe gleich Anzahl der Treffer pro Ion?}}}
-
- \rput(6,6){\pnode{h_2}}
- \ncline[]{amorph}{h_2}
- \ncline[]{->}{h_2}{check_h}
- \lput*{0}{nein}
-
- \rput(6,6){\pnode{h_3}}
- \ncline[]{cryst}{h_3}
- \ncline[]{->}{h_3}{check_h}
- \lput*{0}{nein}
-
- \rput(13,3){\pnode{h_4}}
- \rput(13,16){\pnode{h_5}}
- \ncline[]{check_h}{h_4}
- \ncline[]{h_4}{h_5}
- \lput*{0}{nein}
- \ncline[]{->}{h_5}{random1}
-
- \ncline[]{->}{do_cryst}{check_h}
- \ncline[]{->}{do_amorph}{check_h}
-
- \rput(6,1){\rnode{weiter_1}{\psframebox{$\bigotimes$}}}
- \ncline[]{->}{check_h}{weiter_1}
- \lput*{0}{ja}
-
- \end{pspicture}
- \caption{{\em NLSOP} Ablaufschema Teil 1: Amorphisierung und Rekristallisation.}
- \label{img:flowchart1}
- \end{figure}
-
- \begin{figure}[h]
- \begin{pspicture}(0,0)(12,18)
-
- \rput(6,18){\rnode{weiter_2}{\psframebox{$\bigotimes$}}}
-
- \rput(6,16){\rnode{random2}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=green]{\parbox{7.5cm}{
- Ausw"urfeln der Zufallszahlen:\\
- $R_5$, $R_6$, $R_7$ entsprechend Reichweitenverteilung
- }}}}
- \ncline[]{->}{weiter_2}{random2}
-
- \rput(2,14){\rnode{koord_wahl_i}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=green]{\parbox{7cm}{
- Bestimmung von $\vec{r}(k,l,m)$ durch Abbildung von $R_5$, $R_6$ und $R_7$ auf $k$, $l$ und $m$
- }}}}
- \ncbar[angleA=180,angleB=180]{->}{random2}{koord_wahl_i}
-
- \rput(10,14){\rnode{inc_c}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=green]{\parbox{7cm}{
- Erh"ohung des Kohlenstoffs im Volumen $\vec{r}(k,l,m)$
- }}}}
- \ncline[]{->}{koord_wahl_i}{inc_c}
-
- \rput(10,12){\rnode{is_d}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Durchlauf vielfaches von $d_v$?}}}
- \ncline[]{->}{inc_c}{is_d}
-
- \rput(2,12){\rnode{is_s}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=red]{Durchlauf vielfaches von $n$?}}}
- \ncline[]{->}{is_d}{is_s}
- \lput*{0}{nein}
-
- \rput(10,10){\rnode{loop_d}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Gehe alle/verbleibende Volumina durch?}}}
- \ncline[]{->}{is_d}{loop_d}
- \lput*{0}{ja}
-
- \rput(10,9){\rnode{d_is_amorph}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Volumen $\vec{r}(k,l,m)$ amorph?}}}
- \ncline[]{->}{loop_d}{d_is_amorph}
-
- \rput(10,7){\rnode{loop_dn}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{\parbox{4cm}{
- Gehe alle/verbleibende\\
- direkte Nachbarn durch
- }}}}
- \ncline[]{->}{d_is_amorph}{loop_dn}
- \lput*{0}{ja}
-
- \rput(10,6){\rnode{is_cryst}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Nachbarvolumen kristallin?}}}
- \ncline[]{->}{loop_dn}{is_cryst}
-
- \rput(11,4){\rnode{transfer}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{\parbox{3.5cm}{
- "Ubertrage den Anteil $d_r$ des Kohlenstoffs
- }}}}
- \ncline[]{->}{is_cryst}{transfer}
- \lput*{0}{ja}
-
- \rput(10,3){\rnode{check_dn}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Alle Nachbarn durch?}}}
- \ncline[]{->}{transfer}{check_dn}
- \rput(8.5,5){\pnode{h1}}
- \ncline[]{is_cryst}{h1}
- \rput(8.5,3.2){\pnode{h2}}
- \ncline[]{->}{h1}{h2}
- \lput*{0}{nein}
- \rput(13,3){\pnode{h3}}
- \ncline[]{check_dn}{h3}
- \rput(13,7){\pnode{h4}}
- \ncline[]{h3}{h4}
- \lput*{0}{nein}
- \ncline[]{->}{h4}{loop_dn}
-
- \rput(10,1){\rnode{check_d}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Alle Volumina durch?}}}
- \ncline[]{->}{check_dn}{check_d}
- \lput*{0}{ja}
- \rput(13.5,1){\pnode{h5}}
- \ncline[]{check_d}{h5}
- \rput(13.5,10){\pnode{h6}}
- \ncline[]{h5}{h6}
- \lput*{0}{nein}
- \ncline[]{->}{h6}{loop_d}
- \rput(6,1){\pnode{h7}}
- \ncline[]{check_d}{h7}
- \lput*{0}{ja}
- \rput(6,11){\pnode{h8}}
- \ncline[]{h7}{h8}
- \rput(4.4,11.9){\pnode{h9}}
- \ncline[]{->}{h8}{h9}
-
- \rput(2,9){\rnode{s_p}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=red]{\parbox{7cm}{
- Sputterroutine:\\
- \begin{itemize}
- \item Kopiere Inhalt von Ebene $i$ nach\\
- Ebene $i-1$ f"ur $i = Z,Z-1,\ldots ,2$
- \item Setze Status jedes Volumens in Ebene $Z$ kristallin
- \item Setze Kohlenstoff jedes Volumens in Ebene $Z$ auf Null
- \end{itemize}
- }}}}
- \ncline[]{->}{is_d}{loop_d}
- \lput*{0}{ja}
- \ncline[]{->}{is_s}{s_p}
-
- \rput(2,5){\rnode{check_n}{\psframebox{\parbox{4cm}{
- Anzahl Durchl"aufe entsprechend Dosis?
- }}}}
- \ncline[]{->}{s_p}{check_n}
-
- \rput(4,3){\rnode{start}{\psframebox{{\em NLSOP} Start}}}
- \ncline[]{->}{check_n}{start}
- \lput*{0}{nein}
- \rput(0,3){\rnode{stop}{\psframebox{{\em NLSOP} Stop}}}
- \ncline[]{->}{check_n}{stop}
- \lput*{0}{ja}
-
- \end{pspicture}
- \caption{{\em NLSOP} Ablaufschema Teil 2: Kohlenstoffeinbau (gr"un), Diffusion (gelb) und Sputtervorgang (rot).}
- \label{img:flowchart2}
- \end{figure}