-\begin{figure}
- \begin{center}
- \includegraphics[width=7cm]{gitter.eps}
- \end{center}
-\end{figure}
-Dreiteilung des Simulationsalgorithmus:
-\begin{enumerate}
- \item Amorphisierung/Rekristallisation
- \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target
- \item Diffusionsprozess
-\end{enumerate}
+\vspace{12pt}
+\[
+ \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} \qquad + \qquad \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} \qquad + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\
+\]
+\begin{picture}(70,15)(-28,0)
+ \bf \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch}
+\end{picture}
+\begin{picture}(100,15)(-15,0)
+ \bf \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert}
+\end{picture}
+\begin{picture}(120,15)(-40,0)
+ \bf \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert}
+\end{picture}
+\begin{picture}(300,40)
+$
+ p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit}
+$
+\end{picture}
+\vspace{6pt}
+\begin{displaymath}
+ \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll}
+ 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
+ 0 & \textrm{sonst} \\
+ \end{array} \right.
+\end{displaymath}