+Die Einschr"ankung der Diffusion innerhalb kristalliner Gebiete auf die $x-y$-Ebene ist physikalisch nicht sinnvoll erkl"arbar. Sie wurde urspr"unglich als notwendig erachtet, um kristalline Gebiete, die von ihrer amorphen Umgebung stark kohlenstoffreduziert wurden, wieder mit neuem Kohlenstoff zu versorgen, so dass diese bestrebt sind amorph zu werden. Tats"achlich kann die Diffusion innerhalb kristalliner Zellen weggelassen werden, wie Abbildung \ref{cc_diff} zeigt. Hier sind die Ergebnisse zweier identischer Messungen mit und ohne kristalliner Diffusion zu sehen. In beiden F"allen sind lamellare Strukturen gut zu erkennen.
+\begin{figure}[htb]
+\begin{center}
+\includegraphics[width=3cm]{sim2_a004_b0_Z_c-diff_x-z_21.eps}
+\includegraphics[width=3cm]{sim2_a004_b0_Z_no-c-diff_y-z_24.eps}
+\caption{Messung mit (links) und ohne (rechts) kristalliner Diffusion, $a_{ap}=0.004$, $b_{ap}=0$, $a_{acp}=0.0001$} \label{cc_diff}
+\end{center}
+\end{figure}
+
+Das Weglassen der rein kristallinen Diffusion ist bei niedrigen Targettemperaturen und damit niedrigen Bestreben des Kohlenstoffs zu diffundieren auch physikalisch vertretbar.
+
+Des weiteren erkennt man bei nicht vorhandener kristalliner Diffusion eine Unabh"angikeit der Ergebnisse von der Diffusiongeschwindigkeit $d_v$, wie in Abbildung \ref{d_v_no-c-diff} zu sehen ist.
+\begin{figure}[htb]
+\begin{center}
+\includegraphics[width=3cm]{sim2_a003_b0_10_no-c-diff_x-z_32.eps}
+\includegraphics[width=3cm]{sim2_a003_b0_100_no-c-diff_x-z_37.eps}
+\includegraphics[width=3cm]{sim2_a003_b0_1000_no-c-diff_x-z_27.eps}
+\caption{Messergebnisse f"ur verschiedene $d_v$ $(10/100/1000)$ bei ausgeschalteter Diffusion innerhalb kristalliner Gebiete} \label{d_v_no-c-diff}
+\end{center}
+\end{figure}
+\subsubsection{Variation der amorph-kristallinen Diffusionsrate}
+Unterdr"uckt man die Diffusion von kristallinen in amorphe Gebiete durch Verkleinern des $dr_{ac}$ Wertes, so beobachtet man einen R"uckgang der lamellaren Strukturen. Diese beginnen nun erst ungef"ahr $60 nm$ vor dem Implantationspeak, w"ahrend bei einem identischen Versuch mit h"oherer Diffusionsrate diese schon ab ungef"ahr $150 nm$ zu erkennen sind, wie man Abbildung \ref{suppress_dr_ac} entnehmen kann.
+\begin{figure}[htb]
+\begin{center}
+\includegraphics[width=3cm]{sim2_a004_b0_Z_c-diff_x-z_21.eps}
+\includegraphics[width=3cm]{sim2_a004_b0_Z_0.2-ac-diff_y-z_28.eps}
+\caption{Messunng mit verschiedenen amorph-kristallinen Diffusinsraten, $dr_{ac}=0.5$ (links), $dr_{ac}=0.2$ (rechts)} \label{suppress_dr_ac}
+\end{center}
+\end{figure}
+\subsection{Zusammenfassung der Ergebnisse und Vergleich mit der TEM-Aufnahme}
+Die aufgef"uhrten Ergebnisse enthalten einige wichtige Informationen, welche als Grundlage f"ur weitere Versuche und "Uberlegungen dienen sollen.
+\begin{itemize}
+ \item Eine hohe Schrittzahl und niedrige Werte f"ur den Einfluss der Amorphisierung f"ordern den Selbstordnungsprozess.
+ \item Essentiell f"ur die Ausbildung lamellarer Strukturen ist die Diffusion von Kohlenstoff von kristallinen in amorphe Gebiete, insbesondere in $z$-Richtung.
+ \item Kohlenstoff-Diffusion in kristallinen Gebieten kann vernachl"assigt werden.
+ \item $d_v$ kann hoch gew"ahlt werden ($1-10000$), wodurch Rechenzeit gespart wird.
+ \item Die amoprh/kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe in der erstmals lamellare Ordnungen auftreten.
+ \item Es bilden sich komplement"ar angeordnete, amorphe kohlenstoffreiche inself"ormige Ausscheidungen in den einzelnen Ebenen.
+ \item Die spannungsinduzierte Amorphisierung spielt eine weitaus gr"o"sere Rolle als die kohlenstoffinduzierte Amorphisierung ($\frac{a_{ap}}{a_{cp}} \simeq 30$).
+\end{itemize}
+Die gr"o"ste "Ubereinstimmungen mit dem experimentell gefundenen Ergebnis aus Abbildung \ref{tem1} sind in Abbildung \ref{cmp2-tem} und \ref{cmp3-tem} zu sehen. Die lamellare Ordnung der amorphen Ausscheidungen beginnt in einer Tiefe von $200 nm$. Nach Augenma"s stimmen auch durchschnittlich die L"angen der Lamellen mit dem Experiment "uberein.
+
+%\begin{figure}[htb]
+%\begin{center}
+%\includegraphics[width=2cm]{sim2_a003-b0_no-c-diff_y-z_27-cmp-tem.eps}
+%\includegraphics[width=2cm]{sim2_a003-b0_no-c-diff_y-z_28-cmp-tem.eps}
+%\includegraphics[width=2cm]{sim2_a003-b0_no-c-diff_y-z_29-cmp-tem.eps}
+%\caption{Messungen mit $a_{ap}=0.003$, $b_{ap}=0$, $a_{cp}=0.0001$ und $r=3$} \label{cmp-tem}
+%\end{center}
+%\end{figure}
+
+\begin{figure}[htb]
+\begin{center}
+\includegraphics[width=2cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps}
+\includegraphics[width=2cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_24-cmp-tem.eps}
+\includegraphics[width=2cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_25-cmp-tem.eps}
+\includegraphics[width=2cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_27-cmp-tem.eps}
+\caption{Messungen mit $a_{ap}=0.003$, $b_{ap}=0$, $a_{cp}=0.0001$ und $r=5$ bei einer Dosis von $0.81 \times 10^{17} \frac{C}{cm^2}$} \label{cmp2-tem}
+\end{center}
+\end{figure}
+
+\begin{figure}[htp]
+\begin{center}
+\includegraphics[height=4cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps}
+\includegraphics[height=4cm]{tem-if.eps}
+\caption{Direkter Vergleich mit TEM-Aufnahme} \label{cmp3-tem}
+\end{center}
+\end{figure}