\only<2>{
\includegraphics[width=5cm]{frost.eps}
\scriptsize{
- $1000 \,keV$ $Ar^+ \rightarrow$ $InAs$,\\
+ $1000 \, eV$ $Ar^+ \rightarrow$ $InAs$,\\
rotierendes Target,\\
$T=285 \, K$, $\dot{D}=270 \, \mu A \, cm^{-2}$,\\
$t=60 \, min.$, $\alpha = 30 \, ^{\circ}$.\\
\begin{block}{Monte-Carlo-Methode}
Abbildung von Zufallszahlen auf physikalische Gr"o"sen
\end{block}
+ \pause
\begin{block}{Das Prinzip von TRIM}
\begin{itemize}
\item Verfolgung einer Vielzahl von Teilchenbahnen
% the atom and impact parameter p
\onslide<4->{
\pgfcircle[fill]{\pgfxy(3,6)}{0.1cm}
- \pgfputat{\pgfxy(3.2,6)}{\pgfbox[right,base]{Atom}}
+ \pgfputat{\pgfxy(3.2,6)}{\pgfbox[left,base]{Atom}}
\color{red}
\pgfsetstartarrow{\pgfarrowbar}
\pgfsetendarrow{\pgfarrowbar}
% ion + direction
\onslide<2->{
\pgfcircle[fill]{\pgfxy(1,5)}{0.1cm}
- \pgfputat{\pgfxy(1,4.9)}{\pgfbox[center,buttom]{Ion}}
+ \pgfputat{\pgfxy(1,4.9)}{\pgfbox[center,top]{Ion}}
\pgfmoveto{\pgfxy(1,5)}
\pgflineto{\pgfxy(7,5)}
\pgfsetdash{{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}{0.2cm}}{0cm}
\column{5.5cm}
\vspace{0.5cm}
\includegraphics[width=5.5cm]{trim92_2.eps}
- {\scriptsize TRIM 92: Nukleares/Elekteronisches Bremskraft- und Implantationsprofil f"ur $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$}
+ {\scriptsize TRIM 92: Nukleares/Elektronisches Bremskraft- und Implantationsprofil f"ur $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$}
\end{columns}
\end{frame}
\begin{frame}
\frametitle{Ergebnisse}
\framesubtitle{Simulation, Version 2}
- \begin{block}{Eigenschaften}[<+-| alert@+>]
- \begin{itemize}
+ \begin{block}{Eigenschaften}
+ \begin{itemize}[<+-| alert@+>]
\pause
\item exaktes TRIM Implantations- und Bremskraftprofil
\item mittlere Anzahl W"urfel-Treffer pro Ion aus TRIM