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 \chapter{Grundlagen}
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+  \section{Monte-Carlo-Simulation}
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+  \section{Ion-Festk"orper Wechselwirkung}
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+  Zur theoretischen Beschreibung der Ionenimplantation mu"s die Wechselwirkung der Ionen mit dem Target betrachtet werden.
+  Durch St"o"se mit den Kernen und Elektronen des Targets werden die Ionen im Festk"orper abgebremst, ein entsprechendesImplantationsprofil stellt sich ein.
+  Weitere Folgen sind die durch Bestrahlung im Kristallgitter entstehenden Sch"aden.
+  Im Folgenden wird darauf genauer eingegangen.
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+    \subsection{Abbremsung von Ionen}
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+      \subsubsection{Bremsquerschnitt}
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+      \subsubsection{Nukleare Bremskraft}
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+      \subsubsection{Elektronische Bremskraft}
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+    \subsection{Implantationsprofil}
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+    \subsection{Strahlensch"aden und Amorphisierung}