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index 6010365..7e6aa2e 100644
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 \chapter{Grundlagen}
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+  \section{Monte-Carlo-Simulation}
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+  \section{Ion-Festk"orper Wechselwirkung}
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+  Zur theoretischen Beschreibung der Ionenimplantation mu"s die Wechselwirkung der Ionen mit dem Target betrachtet werden.
+  Durch St"o"se mit den Kernen und Elektronen des Targets werden die Ionen im Festk"orper abgebremst, ein entsprechendes Implantationsprofil stellt sich ein.
+  Weitere Folgen sind die durch Bestrahlung im Kristallgitter entstehenden Sch"aden.
+  Im Folgenden wird darauf genauer eingegangen.
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+    \subsection{Abbremsung von Ionen}
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+    Die Abbremsung der Ionen im Festk"orper kommt haupts"achlich durch inelastische Wechselwirkung mit den Targetelektronen und elastischer Wechselwirkung mit den Atomkernen des Targets zustande.
+    Diese sind unabh"angig voneinander.
+    Die elastische Streuung an freien Elektronen sowie die inelastische Streuung an den Atomkernen k"onnen vernachl"assigt werden.
+    Ebenfalls vernachl"assigt werden Brems- und Cerenkovstrahlung.
+
+      \subsubsection{Bremsquerschnitt}
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+      Um die Abbremsung der Ionen durch elektronische und nukleare Streuung zu beschreiben, definiert man den sogenannten Bremsquerschnitt.
+      \begin{equation}
+      S_{e,n} = - \frac{1}{N} \Big( \frac{\partial E}{\partial x} \Big)_{e,n}
+      \end{equation}
+      Dieser ist proportional zur Bremskraft $\frac{\partial E}{\partial x}$, welche angibt, wieviel Energie $E$ des Ions pro zur"uckgelegter Wegl"ange $x$ abgegeben wird.
+      $N$ ist die atomare Dichte des Festk"orpers.
+      Zerlegt man nun die Energieverlustrate in einen nuklearen und einen elektronischen Anteil so erh"alt man f"ur den Energieverlust pro Wegl"ange:
+      \begin{equation}
+      - \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( S_e(E) + S_n(E) \Big) \quad \textrm{.}
+      \end{equation}
+      Durch Kehrwertbildung und Integration "uber die Energie erh"alt man die mittlere Reichweite $R$ des Ions.
+      Sei dessen Anfangsenergie $E_0$, so gilt:
+      \begin{equation}
+      R = \frac{1}{N} \int_0^{E_0} \frac{d E}{S_e(E) + S_n(E)} \quad \textrm{.}
+      \end{equation}
+      Um die Reichweite des Ions berechnen zu k"onnen, m"ussen noch der nukleare ($S_n$) und elektronische ($S_e$) Bremsquerschnitt bestimmt werden.
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+      \subsubsection{Nukleare Bremskraft}
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+      Die Wechselwirkung mit den Atomkernen des Targets kann durch einen elastischen Sto"sprozess beschrieben werden.
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+      \subsubsection{Elektronische Bremskraft}
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+    \subsection{Implantationsprofil}
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+    \subsection{Strahlensch"aden und Amorphisierung}