X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fdiplom%2Fsimulation.tex;h=837c17f3eaff65d40b35fa6211c31a8acab4759c;hb=861ac8ea7ba676f190496a1302d1affad132df6a;hp=b76f208875a8c2930d910e98f25cf830636cf58b;hpb=d8210b76cf1ac394184e4037b49f70a0119e1547;p=lectures%2Flatex.git diff --git a/nlsop/diplom/simulation.tex b/nlsop/diplom/simulation.tex index b76f208..837c17f 100644 --- a/nlsop/diplom/simulation.tex +++ b/nlsop/diplom/simulation.tex @@ -1,4 +1,5 @@ \chapter{Simulation} +\label{chapter:simulation} Im Folgenden soll die Implementation der Monte-Carlo-Simulation nach dem vorangegangen Modell diskutiert werden. Die Simulation tr"agt den Namen {\em NLSOP}, was kurz f"ur die Schlagw"orter {\bf N}ano, {\bf L}amelle und {\bf S}elbst{\bf O}ragnisations{\bf P}rozess steht. @@ -191,6 +192,7 @@ Eine Anzahl von $N$ Durchl"aufen ist damit "aquivalent zur Dosis $D$, die wie folgt gegeben ist: \begin{equation} D = \frac{N}{XY(3 nm)^2} \, \textrm{.} + \label{eq:dose_steps} \end{equation} Es wird mit einem komplett kristallinen und kohlenstofffreien Target gestartet. @@ -254,6 +256,7 @@ Bei den gegebenen Bedingungen werden ungef"ahr $50 nm$ des Targets bei einer Dosis von $4,3 \times 10^{-17} cm^{-2}$ abgetragen. \section{Simulierte Tiefenbereiche} + \label{section:sim_tiefenbereich} Wie bereits erw"ahnt gibt es zwei verschiedene Versionen des Programms, die verschiedene Tiefenbereiche, im Folgenden Simulationsfenster genannt, simulieren. @@ -278,6 +281,13 @@ Da sowohl die Reichweitenverteilung als auch die nukleare Bremskraft in Ebenen gr"osser $Z$ ungleich Null ist kann Sputtern nicht beachtet werden. Der Diffusionsprozess ist uneingeschr"ankt "moglich. + Hier sei angemerkt, dass die Simulation prinzipiell auch Diffusion von Kohlenstoff innerhalb kristalliner Volumina behandeln kann. + Die erste Idee war, dass Kohlenstoff in kristalline Gebiete diffundieren kann, die bereits einen grossen Anteil ihres Kohlenstoffs an einen amorphen Nachbarn abgegeben haben. + Da jedoch das Konzentartionsprofil durch Diffusionsprozesse nicht ver"andert werden darf, wurde die rein kristalline Diffusion in $z$-Richtung ausgeschlossen. + Da weiterhin die Implantationsprofile von experimentellen Messungen und {\em TRIM}-Simulationen recht gut "ubereinstimmen, kann Diffusion in $z$-Richtung tats"achlich ausgeschlossen werden. + Eine Vorzugsrichtung der Diffusion ist unphysikalisch, weshalb die Diffusion innerhalb kristalliner Gebiete in weiteren Simulationen ausgeschlossen wurde. + Als Relikt bleibt die Option die Diffusion in $z$-Richtung auszuschalten. + In der zweiten Version wird die gesamte Implantationstiefe simuliert. Das Simulationsfenster geht von $0-700 nm$. Dies entspricht einer Anzahl $Z=233$ von W"urfeln in $z$-Richtung.