X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fdiplom%2Fsimulation.tex;h=837c17f3eaff65d40b35fa6211c31a8acab4759c;hb=fe7ff7f815e3edcce15da97e49480a9303e3c778;hp=c1ced379b859445a0cc83e4b1dfca8c185925575;hpb=6962dba946f5efc53cc3c57fc39487c9d3a67440;p=lectures%2Flatex.git diff --git a/nlsop/diplom/simulation.tex b/nlsop/diplom/simulation.tex index c1ced37..837c17f 100644 --- a/nlsop/diplom/simulation.tex +++ b/nlsop/diplom/simulation.tex @@ -192,6 +192,7 @@ Eine Anzahl von $N$ Durchl"aufen ist damit "aquivalent zur Dosis $D$, die wie folgt gegeben ist: \begin{equation} D = \frac{N}{XY(3 nm)^2} \, \textrm{.} + \label{eq:dose_steps} \end{equation} Es wird mit einem komplett kristallinen und kohlenstofffreien Target gestartet. @@ -280,6 +281,13 @@ Da sowohl die Reichweitenverteilung als auch die nukleare Bremskraft in Ebenen gr"osser $Z$ ungleich Null ist kann Sputtern nicht beachtet werden. Der Diffusionsprozess ist uneingeschr"ankt "moglich. + Hier sei angemerkt, dass die Simulation prinzipiell auch Diffusion von Kohlenstoff innerhalb kristalliner Volumina behandeln kann. + Die erste Idee war, dass Kohlenstoff in kristalline Gebiete diffundieren kann, die bereits einen grossen Anteil ihres Kohlenstoffs an einen amorphen Nachbarn abgegeben haben. + Da jedoch das Konzentartionsprofil durch Diffusionsprozesse nicht ver"andert werden darf, wurde die rein kristalline Diffusion in $z$-Richtung ausgeschlossen. + Da weiterhin die Implantationsprofile von experimentellen Messungen und {\em TRIM}-Simulationen recht gut "ubereinstimmen, kann Diffusion in $z$-Richtung tats"achlich ausgeschlossen werden. + Eine Vorzugsrichtung der Diffusion ist unphysikalisch, weshalb die Diffusion innerhalb kristalliner Gebiete in weiteren Simulationen ausgeschlossen wurde. + Als Relikt bleibt die Option die Diffusion in $z$-Richtung auszuschalten. + In der zweiten Version wird die gesamte Implantationstiefe simuliert. Das Simulationsfenster geht von $0-700 nm$. Dies entspricht einer Anzahl $Z=233$ von W"urfeln in $z$-Richtung.