X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fnlsop.tex;h=1d1bc26d9a75f457a3516dcf3dd6ff1ff9d238dd;hb=ddd3c939665b179efdd912719614742fb3ca1a35;hp=16fd3b2ed69b6f3ec7f8e925d776f4857bb9557f;hpb=94a323c281ae14fa1fe1b63776d3d2a0a3f1d332;p=lectures%2Flatex.git diff --git a/nlsop/nlsop.tex b/nlsop/nlsop.tex index 16fd3b2..1d1bc26 100644 --- a/nlsop/nlsop.tex +++ b/nlsop/nlsop.tex @@ -56,7 +56,7 @@ Diese sind unabh"angig voneinander. \end{slide} \begin{slide} -\subsubsection{Bremsquerschnitt} +\slideheading{Bremsquerschnitt} Definition: Bremsquerschnitt $S_{e,n}$ \[ S_{e,n} = \frac{1}{N} \Big( \frac{\partial E}{\partial x} \Big)_{e,n} @@ -80,7 +80,7 @@ Mittlere Reichweite $R$: \end{slide} \begin{slide} -\subsubsection{elektronischer Energieverlust} +\slideheading{elektronischer Energieverlust} Elektronischer Energieverlust haupts"achlich durch inelastische St"o"se. \begin{itemize} \item Anregung / Ionisation des Targets @@ -106,7 +106,7 @@ wobei \end{slide} \begin{slide} -\subsubsection{nuklearer Energieverlust} +\slideheading{nuklearer Energieverlust} Beschreibung durch elastischen Sto"s: \[ T_n(E,p) = E \frac{2 M_1 M_2}{(M_1 + M_2)^2} (1 - \sin \theta) @@ -122,7 +122,7 @@ wobei: \] Integration "uber alle alle m"oglichen Energien $T_n$, gewichtet mit deren Wahrscheinlichkeit liefert Bremsquerschnitt $S_n$: \[ - S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \partial \sigma(E,T_n) + S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \sigma(E,T_n) \partial \sigma \] \end{slide} @@ -135,10 +135,10 @@ wobei $\phi$ Abschirmfunktion darstellt. \end{slide} \begin{slide} -\subsubsection{Implanationsprofil} +\slideheading{Implantationsprofil} Wegen Richtungs"anderungen der Ionen: \[ - R \neq \textrm{mittlere Implanationstiefe} + R \neq \textrm{mittlere Implantationstiefe} \] N"aherung des Konzentartionsprofils durch Gau"sverteilung: \[ @@ -155,7 +155,7 @@ mit: \end{slide} \begin{slide} -Ionisationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM): +Implantationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM): \\ bild von maik requesten... \end{slide} @@ -178,7 +178,7 @@ Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (ledig \end{slide} \begin{slide} -\section{Nannolamelare Selbstordnungsprozesse} +\section{Nanolamelare Selbstordnungsprozesse} \end{slide} \begin{slide} @@ -186,7 +186,7 @@ Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (ledig Parameter: \begin{itemize} \item niedrige Targettemperaturen, $T < 400$ Grad Celsius - \item Implanation in $(100)$-orientiertes Silizium + \item Implantation in $(100)$-orientiertes Silizium \end{itemize} Beobachtungen an oberer Grenzfl"ache zur amorphen Schicht:\\ $\rightarrow$ Bildung amorpher lamellarer Strukturen @@ -297,4 +297,8 @@ Beobachtungen in Abh"angigkeit der Parameter: parameter und bilder einfuegen... \end{slide} +\begin{slide} +\section{Ausblick} +\end{slide} + \end{document}