X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fnlsop.tex;h=494a341f6b29aa78264776eeec0d8b77e2c447d3;hb=0c60cc54922bb49ea859c9798b46d8de261d0145;hp=16fd3b2ed69b6f3ec7f8e925d776f4857bb9557f;hpb=94a323c281ae14fa1fe1b63776d3d2a0a3f1d332;p=lectures%2Flatex.git diff --git a/nlsop/nlsop.tex b/nlsop/nlsop.tex index 16fd3b2..494a341 100644 --- a/nlsop/nlsop.tex +++ b/nlsop/nlsop.tex @@ -56,7 +56,7 @@ Diese sind unabh"angig voneinander. \end{slide} \begin{slide} -\subsubsection{Bremsquerschnitt} +\slideheading{Bremsquerschnitt} Definition: Bremsquerschnitt $S_{e,n}$ \[ S_{e,n} = \frac{1}{N} \Big( \frac{\partial E}{\partial x} \Big)_{e,n} @@ -80,7 +80,7 @@ Mittlere Reichweite $R$: \end{slide} \begin{slide} -\subsubsection{elektronischer Energieverlust} +\slideheading{elektronischer Energieverlust} Elektronischer Energieverlust haupts"achlich durch inelastische St"o"se. \begin{itemize} \item Anregung / Ionisation des Targets @@ -91,7 +91,7 @@ Elektronischer Energieverlust haupts"achlich durch inelastische St"o"se. \begin{slide} Energieverlust abh"angig von Energie $E$ der Ionen. (LSS, Firsov) \begin{itemize} - \item niedrige Teilchenenergie: $S_e(E) = \sqrt{E}$ + \item niedrige Teilchenenergie: $S_e(E) \sim \sqrt{E}$ \item hohe, nicht relativistische Teilchenenergie: $S_e(E) = N \frac{4 \pi Z_1^2 Z_2^2 e^2}{m_e v_0^2} \textrm{ln} \, \Big( \frac{2 m_e v_0^2}{I} \Big)$ \end{itemize} wobei @@ -106,7 +106,7 @@ wobei \end{slide} \begin{slide} -\subsubsection{nuklearer Energieverlust} +\slideheading{nuklearer Energieverlust} Beschreibung durch elastischen Sto"s: \[ T_n(E,p) = E \frac{2 M_1 M_2}{(M_1 + M_2)^2} (1 - \sin \theta) @@ -122,7 +122,7 @@ wobei: \] Integration "uber alle alle m"oglichen Energien $T_n$, gewichtet mit deren Wahrscheinlichkeit liefert Bremsquerschnitt $S_n$: \[ - S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \partial \sigma(E,T_n) + S_n(E) = \int_0^\infty T_n(E,p) 2 \pi \partial p = \int_0^{T_{max}} T \sigma(E,T_n) \partial \sigma \] \end{slide} @@ -135,10 +135,10 @@ wobei $\phi$ Abschirmfunktion darstellt. \end{slide} \begin{slide} -\subsubsection{Implanationsprofil} +\slideheading{Implantationsprofil} Wegen Richtungs"anderungen der Ionen: \[ - R \neq \textrm{mittlere Implanationstiefe} + R \neq \textrm{mittlere Implantationstiefe} \] N"aherung des Konzentartionsprofils durch Gau"sverteilung: \[ @@ -155,9 +155,9 @@ mit: \end{slide} \begin{slide} -Ionisationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM): +Implantationsprofil aus Monte-Carlo-Simulation (TRIM): \\ -bild von maik requesten... +\includegraphics[width=10cm,clip,draft=no]{implsim_.eps} \end{slide} \begin{slide} @@ -174,11 +174,11 @@ verlagerte Gitteratome kehren an Gitterplatz zur"uck, durch: \item ionenstrahlinduzierte Ausheilung \end{itemize} Beobachtung aus Experiment:\\ -Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (lediglich leichter Shift). +$\rightarrow$ Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft. \end{slide} \begin{slide} -\section{Nannolamelare Selbstordnungsprozesse} +\section{Nanolamellare Selbstordnungsprozesse} \end{slide} \begin{slide} @@ -186,14 +186,16 @@ Intensit"at der Strahlensch"adigung verh"alt sich wie nukleare Bremskraft (ledig Parameter: \begin{itemize} \item niedrige Targettemperaturen, $T < 400$ Grad Celsius - \item Implanation in $(100)$-orientiertes Silizium + \item Implantation in $(100)$-orientiertes Silizium \end{itemize} Beobachtungen an oberer Grenzfl"ache zur amorphen Schicht:\\ $\rightarrow$ Bildung amorpher lamellarer Strukturen \end{slide} \begin{slide} -bild von maik requesten... +TEM-Aufnahme lamellarer und sph"arischer amorpher Gebiete:\\ +\\ +\includegraphics[width=10cm,clip,draft=no]{k393abild1_.eps} \end{slide} \begin{slide} @@ -209,11 +211,13 @@ Entstehung der geordneten amorphen Ausscheidungen: \end{slide} \begin{slide} -Folgen:\\ +Folgen: \begin{itemize} + \item Nukleation amorpher sph"arischer Ausscheidungen \item F"orderung der Amorphisierung zwischen 2 Ausscheidungen \item Bildung amorpher lamellarer Strukturen \end{itemize} +\includegraphics[width=10cm,clip,draft=no]{model1_.eps} \end{slide} \begin{slide} @@ -297,4 +301,8 @@ Beobachtungen in Abh"angigkeit der Parameter: parameter und bilder einfuegen... \end{slide} +\begin{slide} +\section{Ausblick} +\end{slide} + \end{document}