X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fnlsop_dpg_2004.tex;h=c3ab62227c520b3209c2ca9ac4a68dc7183b06c3;hb=f97d30adaf888c2e741aeb61dd7dbdca019d8de1;hp=0f45ac1259910361f59de853b0df94cf1e0d7d34;hpb=e8beae814919677924e08d4b603fa23536d18fec;p=lectures%2Flatex.git diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex index 0f45ac1..c3ab622 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2004.tex @@ -74,7 +74,7 @@ \begin{itemize} \item geringe L"oslichkeit von Kohlenstoff in Silizium \\ $\rightarrow$ kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph - \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung + \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung \item d"unnes Target \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung \item Kohlenstoff"ubers"attigung \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff aus kristallinen in amorphe Gebiete \end{itemize} @@ -92,7 +92,7 @@ \begin{itemize} \item kohlenstoffinduzierte Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen \item spannungsinduzierte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen - \item Bildung kohelnstoffreicher amorpher lamellarer Ausscheidungen + \item Bildung kohlenstoffreicher amorpher lamellarer Ausscheidungen \end{itemize} \end{slide} @@ -150,7 +150,7 @@ Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: \item Berechnung der Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit \[ \begin{array}{ll} - p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohelstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ + p_{c \rightarrow a} & \displaystyle =a_{cp} \times c^{\textrm{lokal}}_{\textrm{Kohlenstoff}} + b_{ap} + \sum_{amorphe Nachbarn} \frac{a_{ap} \times c_{\textrm{Kohlenstoff}}}{\textrm{Abstand}^2}\\ p_{a \rightarrow c} & =1-p_{c \rightarrow a} \end{array} \] @@ -177,11 +177,11 @@ Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. \begin{itemize} \item rein kristalline Diffusion: \[ - \Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{ac} + \Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{cc} \] \item Diffusion von kristalline in amorphe Gebiete: \[ - \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{cc} + \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac} \] \end{itemize} \end{slide} @@ -232,12 +232,12 @@ Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen i \begin{slide} \uni-header \section*{Ergebnisse} -Die amorph/kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe in der erstmals lamellare Ordnung auftrit +Die amorph/kristalline Diffusionsrate beeinflusst die Tiefe in der erstmals lamellare Ordnung auftritt \begin{figure}[h] \begin{center} \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_c-diff_x-z_21.eps} \includegraphics[height=2cm]{sim2_a004_b0_Z_0.2-ac-diff_y-z_28.eps} - \caption{Messunng mit verschiedenen amorph-kristallinen Diffusionsraten} + \caption{Messung mit verschiedenen amorph-kristallinen Diffusionsraten} \end{center} \end{figure} \end{slide} @@ -250,7 +250,7 @@ Beste "Ubereinstimmung mit TEM-Aufnahme: \begin{center} \includegraphics[height=3.5cm]{sim2_64-64_a003_b0_no-c-diff_x-z_23-cmp-tem.eps} \includegraphics[height=3.5cm]{tem-if.eps} - \caption{Vergleich von Simulationsergebniss und TEM-Aufnahme} + \caption{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme} \end{center} \end{figure} \end{slide}