X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fnlsop_dpg_2005.tex;h=18159d6d5e8812a5cbdd36f7948c3bdec3593116;hb=d77f5e47f66568ad87e09a8870437e4e5d3ff6d1;hp=bc15ff047ee23e711395a755a7905aada1556137;hpb=1dedbb2a9b88d4f567520fecc2ffde9751094d97;p=lectures%2Flatex.git diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex index bc15ff0..18159d6 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex @@ -91,33 +91,6 @@ \end{itemize} \end{slide} -\begin{slide} -{\large\bf - Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit -} -Beitr"age zur Amorphisierung -\begin{itemize} - \item \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch} - \item \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert} - \item \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert} -\end{itemize} -\vspace{12pt} -Berechnung der Wahrscheinlichkeiten -\[ - \begin{array}{ll} - \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} + \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\ - \vspace{6pt} - p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit} \\ - \end{array} -\] -\begin{displaymath} - \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll} - 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\ - 0 & \textrm{sonst} \\ - \end{array} \right. -\end{displaymath} -\end{slide} - \begin{slide} {\large\bf Simulation @@ -142,130 +115,118 @@ Berechnung der Wahrscheinlichkeiten \hline{} Implantationsprofil & linear gen"ahert & exakt (TRIM) \\ \hline{} - Kollision pro implantierten Teilchen & $1$ & exakt (TRIM) \\ + Treffer pro implantierten Teilchen & $1$ & exakt (TRIM) \\ \hline{} - Anzahl der implantierten Teilchen & ~ $30$ Millionen & $\equiv$ Dosis \\ + Anzahl der implantierten Teilchen & freier Parameter & $\equiv$ Dosis \\ \end{tabular} \end{slide} -\begin{slide} -Dreiteilung des Simulationsalgorithmus: -\begin{enumerate} - \item Amorphisierung/Rekristallisation - \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target - \item Diffusionsprozess -\end{enumerate} -\end{slide} - \begin{slide} {\large\bf - 1) Amorphisierung/Rekristallisation + Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit \\ } -\begin{itemize} - \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft - \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$ - \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl -\end{itemize} -\vspace{24pt} -{\large\bf - 2) Einbau des implantierten Kohlenstoffions -} - \begin{picture}(200,0)(-180,100) - \includegraphics[width=6cm]{sim_window.eps} - \end{picture} -\begin{itemize} - \item $\textrm{gesamter Kohlenstoff} < \textrm{steps} \times c_{ratio}$ - \item gewichtete Wahl der Koordinaten \\ f"ur Kohlenstofferh"ohung -\end{itemize} -\vspace{24pt} +%\begin{itemize} +% \item \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch} +% \item \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert} +% \item \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert} +%\end{itemize} +\[ + \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} + \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\ +\] + +\[ + p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit} \\ +\] +\begin{displaymath} + \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll} + 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\ + 0 & \textrm{sonst} \\ + \end{array} \right. +\end{displaymath} \end{slide} \begin{slide} {\large\bf - 3) Diffusion \\ + Simulationsalgorithmus } -Diffusion findet alle $d_v$ Schritte statt. -\begin{itemize} - \item Diffusion im Kristallinen: - \[ - \Delta c = \frac{\textrm{Differenz}}{2} \times dr_{cc} - \] - \item Diffusion von kristallinen in amorphe Gebiete: - \[ - \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac} - \] -\end{itemize} -{\large\bf - Variierte Parameter -} -\begin{itemize} - \item Schrittzahl - \item Amorphisierung beschreibende Parameter - \item Diffusionsgeschwindigkeit und Diffusionsrate - \item Diffusion in $z$-Richtung - \item rein kristalline Diffusion -\end{itemize} + \includegraphics[width=10cm]{flowchart.eps} \end{slide} +%\begin{slide} +%{\large\bf +% Simulationsalgorithmus +%} +%\begin{enumerate} +% \item Amorphisierung/Rekristallisation +% \begin{itemize} +% \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft +% \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$ +% \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl +% \end{itemize} +% \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target +% \begin{itemize} +% \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung entsprechend Implantationsprofil +% \item lokale Erh"ohung des Kohelnstoffgehalts +% \end{itemize} +% \item Diffusionsprozess und Sputtern +% \begin{itemize} +% \item Kohelnstoffdiffusion von kristallinen in amorphe Gebiete alle $d_v$ Schritte: +% \[ +% \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac} +% \] +% \item Nachr"ucken einer kristallinen kohlenstofffreien Ebene von oben +% \end{itemize} +%\end{enumerate} +%\end{slide} + \begin{slide} {\large\bf - Ergebnisse + Ergebnisse - Version 1 } \begin{itemize} \item \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen} - \item Notwendig f"ur Bildung der lamellaren Ausscheidungen: - \begin{itemize} - \item hohe Schrittzahl und niedrige Amorphisierungswahrscheinlichkeiten - \item Diffusion von Kohlenstoff von kristallinen in amorphe Gebiete, insbesondere in $z$-Richtung - \begin{figure} - \begin{center} - \includegraphics[height=5cm]{mit_ohne_diff.eps} - \end{center} - \end{figure} - \end{itemize} + \begin{center} + \includegraphics[height=6cm]{if_cmp3.eps} + \end{center} \end{itemize} \end{slide} \begin{slide} {\large\bf - Ergebnisse \\ + Ergebnisse - Version 1 } -H"ohere Diffusionsrate $\rightarrow$ gr"o"serer Tiefenbereich -\begin{figure} - \begin{center} - \includegraphics[height=6cm]{high_low_ac-diff.eps} - \end{center} -\end{figure} +\begin{itemize} + \item Einfluss der Diffusion +\end{itemize} +\begin{tabular}{lr} + \includegraphics[height=5cm]{diff_einfluss.eps} & + \includegraphics[height=5cm]{sim2-a004-Z_and_noZ-TEMVIEW-ls.eps} \\ +\end{tabular} \end{slide} \begin{slide} {\large\bf - Ergebnisse \\ + Ergebnisse - Version 1 } -Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen. -\begin{figure} - \begin{picture}(100,60)(-40,40) - \includegraphics[width=6cm]{z_z_plus_1.eps} - \end{picture} - \begin{picture}(200,20)(-200,5) - Amorph/Kristalline Darstellung - \end{picture} - \begin{picture}(100,60)(-45,40) - \includegraphics[width=5cm]{c_conc_z_z_plus_1.eps} - \end{picture} - \begin{picture}(200,20)(-200,12) - Kohlenstoffverteilung - \end{picture} -\end{figure} +\begin{itemize} + \item Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen. +\end{itemize} +\begin{tabular}{lr} + \includegraphics[height=7cm]{really_all_z-z_plus1.eps} & + \includegraphics[width=8cm]{ac_cconc_d.eps} \\ +\end{tabular} \end{slide} \begin{slide} {\large\bf - Vergleich mit TEM-Aufnahme \\ + Ergebnisse - Version 2 } +\begin{itemize} + \item Dosisentwicklung +\end{itemize} \begin{figure} \begin{center} - \includegraphics[height=6cm]{if_cmp2.eps} + \includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung2.eps} \end{center} \end{figure} \end{slide} @@ -275,7 +236,7 @@ Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen i Zusammenfassung } \begin{itemize} - \item Einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen + \item einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen \item lamellare Strukturen durch Simulation nachvollziehbar \end{itemize} \vspace{32pt} @@ -283,15 +244,15 @@ Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen i Ausblick } \begin{itemize} - \item Zusammenhang zwischen Simulations- und Implantationsparametern - \item objektivere Methode zur Messung der lamellaren Struktur (Fouriertransformierte des Realbildes) - \item Vergleiche mit TEM-Aufnahmen, insbesondere der Dosisentwicklung + \item mehr \dq Version 2 \dq{} - Versuche + \item Simulation anderer Ion-Target Kombinationen \\ + $\rightarrow$ Zusammenhang zwischen Simulations und Implantationsparametern \end{itemize} \vspace{32pt} -%\begin{flushleft} -% {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\ -% {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de} -%\end{flushleft} +\begin{flushleft} + {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\ + {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de} +\end{flushleft} \end{slide} \end{document}