X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Fnlsop_fp_b.tex;h=983b3d0b15446c458ef496d11d14b52ce9a1ca9c;hb=2667af28e6382036a74c245185f499016250dbe7;hp=2822ab5fd57bfa4d128f0a87567b7fd155cfcd16;hpb=7f7938e6c85f6b83e17c69096d27f92761d5fa32;p=lectures%2Flatex.git diff --git a/nlsop/nlsop_fp_b.tex b/nlsop/nlsop_fp_b.tex index 2822ab5..983b3d0 100644 --- a/nlsop/nlsop_fp_b.tex +++ b/nlsop/nlsop_fp_b.tex @@ -49,7 +49,23 @@ mit: x & \equiv \textrm{zur"uckgelegter Weg} \end{array} \] +Wegen der Unabh"angigkeit der Wechselwirkungsprozesse erh"alt man fuer den Energieverlust pro Weg: +\[ + - \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( S_e(E) + S_n(E) \Big) +\] +Durch Kehrwertbildung und Integration "uber die Energie bekommt man die mittlere Reichweite $R$ des Ions. Sei dessen Anfangsenergie $E_0$, so gilt: +\[ + R = \frac{1}{N} \int_0^{E_0} \frac{\partial E}{S_e(E) + S_n(E)} +\] +Um die Reichweite des Ions zu berechnen, m"ussen noch der nukleare ($S_n$) und elektronische ($S_e$) Bremsquerschnitt bestimmt werden. \subsection{nukleare Bremskraft} +Wie bereits erw"ahnt kann die Wechelswirkung mit den Atomkernen des Targets durch einen elastischen Streuproze"s beschrieben werden. F"ur den Energie"ubertrag beim Sto"s gilt, +\[ + T_n(E) = E \frac{2 M_1 M_2}{(M_1 + M_2)^2} (1 - \sin \theta) +\] +wobei $M_1$ und $E$ Masse und Energie des einfallenden Ions, $M_2$ die Masse des ruhenden Targetatoms und $T_$ der Energie"uebrtrag ist. $\theta$ entspricht dem Streuwinkel im Schwerpunktsystem. +Integriert man nun alle m"oglichen Energie"ubertr"age gewichtet... + \subsection{elektronische Bremskraft} \section{Implantationsprofil} \section{Amorphisierung}