X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=blobdiff_plain;f=nlsop%2Ftalk%2Ftalk_german.tex;h=81816648d9f4dc41653588ba90c927d7401fbf55;hb=d500a3cbdf80fb4e8d6617b7d04002176f85a360;hp=a9c697deee263d9957f9775a92fdbf4755504d45;hpb=52f978624ba75134790a0c2dc2a9244653636397;p=lectures%2Flatex.git

diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex
index a9c697d..8181664 100644
--- a/nlsop/talk/talk_german.tex
+++ b/nlsop/talk/talk_german.tex
@@ -1,5 +1,11 @@
-\documentclass[pdf,hdw]{prosper}
+\documentclass{beamer}
 
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 \begin{document}
 
 \title{Vorstellung der Diplomarbeit}
 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
-\author{Frank Zirkelbach}
-\email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
-\institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik - Universit"at Augsburg}
-
-\maketitle
-
-\overlays{7}{
-\begin{slide}{"Uberblick}
-\begin{itemstep}
-  \item Motivation
-  \item Grundlagen der Ionenimplantation
-  \item Experimentelle Befunde
-  \item Das Modell
-  \item Die Simulation
-  \item Ergebnisse
-  \item Herstellung breter lamellarer Bereiche
-  \item Zusammenfassung
-\end{itemstep}
-\end{slide}}
-
-\overlays{3}{
-\begin{slide}{Motivation}
-\begin{itemstep}
- \item Ionenimplantation
- \item Selbstorganisation
- \item Monte-Carlo-Simulation
-\end{itemstep}
-\end{slide}}
+\author[F. Zirkelbach]{Frank Zirkelbach \\ \texttt{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}}
+\institute{
+Institut f"ur Physik\\
+Lehrstuhl f"ur Experimentalphysik IV\\
+Universit"at Augsburg
+}
+\date{10. November 2005}
+%\pgfdeclareimage[width=1.5cm]{lst-logo}{Lehrstuhl-Logo}
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+%\beamerdefaultoverlayspecification{<+->}
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+\AtBeginSubsection[]
+{
+  \begin{frame}<beamer>
+    \frametitle{"Uberblick}
+    \tableofcontents[currentsubsection]
+  \end{frame}
+}
+
+\begin{frame}
+  \titlepage
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{"Uberblick}
+  \tableofcontents%[pausesections]
+\end{frame}
+
+\section{Einf"uhrung}
+
+  \subsection{Ionenimplantation}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Einf"uhrung}
+  \framesubtitle{Ionenimplantation}
+  \begin{block}{Funktionsweise}
+    \begin{itemize}
+      \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
+      \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
+      \item Bestrahlung eines Festk"orpers
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+  \onslide<2->
+  $\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten
+  \begin{block}{Anwendung}
+  Dotierung von Halbleiterkristallen
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Einf"uhrung}
+  \framesubtitle{Ionenimplantation}
+  \begin{block}{Vorteile}
+    \begin{itemize}
+      \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
+      \item Reproduzierbarkeit
+      \item Homogenit"at
+      \item Schnelligkeit
+      \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
+      \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Selbstorganisation}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Einf"uhrung}
+  \framesubtitle{Selbstorganisation}
+  \begin{columns}
+    \column{4.5cm}
+      \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh}}
+      \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg}}
+      \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2}}
+    \column{6.5cm}
+      \begin{enumerate}
+        \item<1-> Riffelformation auf der Targetoberfl"ache
+        \item<2-> separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen
+        \item<3-> periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen
+      \end{enumerate}
+  \end{columns}
+\end{frame}
+
+\section{Grundlagen}
+
+  \subsection{Abbremsung der Ionen}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Grundlagen}
+  \framesubtitle{Abbremsung der Ionen}
+     \onslide<2->
+     \begin{block}{nuklearer Bremsquerschnitt}
+       elastischer Sto"s mit Atomkernen des Targets\\
+       $S_n(E) = \int_0^{T_{max}} T d \sigma$
+     \end{block}
+     \onslide<3->
+     \begin{block}{elektronischer Bremsquerschnitt}
+       inelastischer Sto"s mit Elektronen des Targets\\
+       $S_e(E) = k_L \sqrt{E}$
+     \end{block}
+     \onslide<4->
+     \begin{block}{Bremskraft}
+       $- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( S_n(E) + S_e(E) \Big)$
+     \end{block}
+\end{frame}
+
+  \subsection[TRIM]{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Grundlagen}
+  \framesubtitle{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM}
+  \begin{block}{Prinzip}
+    \begin{itemize}
+      \item Verfolgung einer Vielzahl von Teilchenbahnen
+      \pause
+      \item Start mit gegebener Energie, Position und Richtung
+      \pause
+      \item Geradlinige Bewegung innerhalb freier Wegl"ange
+      \pause
+      \item Energieverlust durch St"o"se
+      \pause
+      \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_d$
+      \pause
+      \item Abbildung von Zufallszahlen auf:
+        \begin{itemize}
+           \item freie Wegl"ange $l$
+           \item Sto"sparameter $p \quad \Rightarrow$ Ablenkwinkel $\Theta \Rightarrow \Delta E$
+           \item Azimutwinkel $\Phi$
+        \end{itemize}
+    \end{itemize}
+  \end{block}
+\end{frame}
+
+\section{Experimentelle Befunde}
+
+  \subsection[amorphe Phasen]{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Experimentelle Befunde}
+  \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
+    \begin{center}
+      \includegraphics[height=5.5cm]{k393abild1_pres.eps}
+    \end{center}
+    \begin{center}
+      {\scriptsize\bf Hellfeld-TEM-Abbildung: $180 \, keV \, C^+ \rightarrow (100)Si$, $T = 150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $D = 4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
+    \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Experimentelle Befunde}
+  \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
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+
+\begin{frame}
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+  \framesubtitle{}
+\end{frame}
 
 \end{document}