From: hackbard Date: Fri, 20 May 2005 11:00:04 +0000 (+0000) Subject: grob nukleare bk fertig, muss verbessert werden! X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=commitdiff_plain;h=5a38dfa30dc8b7834ed997eb797b060060a2a767;p=lectures%2Flatex.git grob nukleare bk fertig, muss verbessert werden! --- diff --git a/nlsop/diplom/grundlagen.tex b/nlsop/diplom/grundlagen.tex index cc09080..33f2a73 100644 --- a/nlsop/diplom/grundlagen.tex +++ b/nlsop/diplom/grundlagen.tex @@ -113,6 +113,7 @@ Die in den Festk"orper implantierten Ionen sto"sen mit den Atomkernen und Elektronen des Targets. Dieser Streuprozess ist mit einem Energieverlust und einer Richtungs"anderung des Ions verbunden. Das Ion f"uhrt weitere St"o"se aus bis dessen Energie zu klein f"ur weitere Sto"sprozesse ist. + Die Abbremsung der Ionen durch St"o"se mit den Atomkernen bezeichnet man als nukleare Bremskraft, die mit den Elektronen als elektronische Bremskraft. \subsubsection{Bremsquerschnitt} @@ -138,6 +139,8 @@ Zur Beschreibung der nuklearen Bremskraft muss der Energie"ubertrag zwischen einem bewegten und einem station"aren geladenen Teilchen betrachtet werden. Dieser h"angt ab von Geschwindigkeit und Richtung des bewegten Teilchens, sowie von Masse und Ladung beider Teilchen und damit einem interatomaren Potential. Die letztendlichen Geschwindigkeiten und Trajektoren k"onnen mit Hilfe der Energie- und Impulserhaltung f"ur einfache Potentiale analytisch gel"ost werden. + Es werden nur elastische St"o"se betrachtet, inelatische St"o"se mit den Atomkernen k"onnen vernachl"assigt werden. + Da die nukleare Bremskraft sehr wichtig f"ur die weitere Arbeit ist, wird auf ihre Herleitung etwas genauer eingegangen. Zun"achst soll die klassische elastische Streuung zweier K"orper behandelt werden. Dabei ist das ruhende Teilchen der Atomkern, das einfallende Teilchen das implantierte Ion (Abbildung \ref{img:scatter_lc}). @@ -268,10 +271,19 @@ Mit Hilfe dieser Gleichung kann der Streuwinkel "uber die Schwerpunktsenergie $E$, dem Potential $V(r)$ und dem Stossparameter $p$ bestimmt werden. Der durschnittliche Energie"ubertrag kann nun durch Einsetzen von \eqref{eq:theta_of_p} in \eqref{eq:final_delta_e} und Integration "uber alle $p$ bestimmt werden. - F"ur das interatomare Potential $V(r)$ \ldots + F"ur das interatomare Potential $V(r)$ wird oft ein abgeschirmtes Coulomb-Potential verwendet \cite{ziegler_biersack_littmark}. + \[ + V(r) = \frac{Z_1 Z_2 e^2}{4 \pi \epsilon_0 r} \Phi(\frac{r}{a}) + \] + Dabei ist $\Phi$ eine geeignete Abschirmfunktion und $a$ der sogenannte Abschirmparameter in der Gr"o"senordnung des Bohrradius. + Die besten "Ubereinstimmungen mit dem Experiment erh"alt man durch Verwendung des sogenannten \dq universal potential\dq{} \cite{ziegler_biersack_littmark}, dass von Ziegler et al. mit verbessertebn Methoden, unter anderem dem Anfitten von Daten zahlreicher Ion-Target-Kombinationen an die Abschirmfunktion, eingef"uhrt wurde. \subsubsection{Elektronische Bremskraft} + + \subsection{Implantationsprofil} + \subsection{Die Monte-Carlo-Simulation {\em TRIM}} + \subsection{Strahlensch"aden und Amorphisierung} diff --git a/nlsop/diplom/literatur.tex b/nlsop/diplom/literatur.tex index 7d018e9..fd1c765 100644 --- a/nlsop/diplom/literatur.tex +++ b/nlsop/diplom/literatur.tex @@ -3,4 +3,5 @@ \bibitem{herstellung_sic_schicht} J.K.N. Lindner, K. Volz, U. Preckwinkel, B. G"otz, A. Frohnwieser, B. Rauschenbach, B. Stritzker. Mat. Chem. and Phys. 46 (1996) 147. \bibitem{chef_habil} J.K.N. Lindner. Habilitationsschrift, Universit"at Augsburg, 1999. \bibitem{park_miller_zufall} S. K. Park, K. W. Miller. Communications of the ACM 31 (1988) 1192-1201 + \bibitem{ziegler_biersack_littmark} J.F. Ziegler, J.B. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Matter, Vol. 1. Pergamon Press, New York, 1985. \end{thebibliography} diff --git a/nlsop/diplom/simulation.tex b/nlsop/diplom/simulation.tex index 5c710e3..17785f4 100644 --- a/nlsop/diplom/simulation.tex +++ b/nlsop/diplom/simulation.tex @@ -8,7 +8,7 @@ \subsection{Sputtern} - \section{Auswertung von TRIM Ergebnissen} + \section{Auswertung von {\em TRIM} Ergebnissen} \subsection{Implantationsprofil und nukleare Bremskraft}