From: hackbard <hackbard>
Date: Thu, 7 Aug 2003 13:22:22 +0000 (+0000)
Subject: einleitung
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einleitung
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diff --git a/nlsop/nlsop_fb_bericht.tex b/nlsop/nlsop_fb_bericht.tex
index ea7a70d..25ddaa9 100644
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 \author{Frank Zirkelbach}
 
-\title{Nanolamellare Selbstordnungsprozesse bei Kohlenstoffimplantation in $(100)$-orientiertes Silizium bei Temperaturen kleiner $400$ Grad Celsius}
+\title{Nanolamellare Selbstordnungsprozesse bei Kohlenstoffimplantation in $(100)$-orientiertes Silizium bei Temperaturen kleiner $400 \, ^{\circ} \mathrm{C}$}
 
 \begin{document}
 \frontmatter
@@ -23,17 +23,35 @@
 
 \mainmatter
 
-\chapter{Einf"uhrung}
+\chapter{Einleitung}
+In der folgenden Arbeit soll die Entstehung und Selbstorganisation amorpher lamellarer Einschluesse bei Hochdosis Kohlenstoffimplantation in $(100)$ orientiertes Silizium untersucht werden. Solche Einschluesse findet man bei Targettemperaturen keiner $400 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ und einer Dosis von $8,5 \times 10^17 \frac{C}{cm^2}$ oberhalb des Implantationspeaks. "Ahnliche Strukturen beobachtet man auch bei Hochdosis-Sauerstoff-Implantation in Silizium.
 
-\section{Abbremsung von Ionen}
+Der Hauptteil der Arbeit befasst sich mit der Beschreibung des, f"ur diese Selbstorganisationsproze"se zugrundeliegenden Modells und einer daraus erarbeiteten Simulation. Die Arbeit ist wie folgt geliedert.
+
+Im ertsen Teil dieser Arbeit werden die n"otigen Grundlagen der Ionenimplantation wiederholt, um sp"ater angestellte Annahmen besser zu verstehen. Danach wird das Modell konkret formuliert und die Implementierung diskutiert. Im dritten Teil werden die Ergebnisse der Simulation besprochen. Dabei werden die erzeugten Bilder mit TEM Aufnahmen verglichen. Der letzte Teil gibt eeine Zusammenfassung und m"ogliche Anwendungsgebiete die vom genaueren Verst"andniss dieser Selbstorganisationprozesse profitieren.
+
+Die Simulation ist in der Programmiersprache C geschrieben. Dabei wurden Funktionen die unter den POSIX Standard fallen verwendet. Eine Portierung auf Windows ist nicht geplant, da auf solchen propriet"aren Betriebssystemn wissenschaftliches Arbeiten sowieso nicht m"oglich ist.
+
+\chapter{Grundlagen}
 foobar ...
+\section{Abbremsung von Ionen}
+\subsection{Bremsquerschnitt}
+\subsection{nukleare Bremskraft}
+\subsection{elektronische Bremskraft}
+\section{Implantationsprofil}
+\section{Amorphisierung}
 
-\chapter{Die Simulation}
+\chapter{Modell und Simulation}
 
 \section{Modellannahmen}
-foobar ...
+\subsection{Strahlensch"adigung und nukleare Bremskraft}
+\subsection{Druckspannung und Amorphisierung}
+\subsection{Implantationsprofil und Kohlenstoffverteilung}
+\subsection{Diffusionsprozesse}
 
-\section{Ablaufschema}
+\section{Simulation}
+\subsection{Vom Modell zur Simulation}
+\subsection{Ablaufschema}
 \originalTeX
 \begin{figure}[thbp]
 \begin{center}
@@ -119,7 +137,8 @@ foobar ...
  \diredge{n_c}{c2c_d}
  \freetext(0.7,24.5){ja}
  \rectnode{c2a_d}[4,1.5](6,23.5)
- \freetext(6,23.5){Bewege $\frac{\textrm{Differenz}}{2}*\textrm{dr ac}$}
+ \freetext(6,24){Bewege}
+ \freetext(6,23.5){$c_C(Nachbar)*\textrm{dr ac}$}
  \freetext(6,23){der Kohlenstoffatome}
  \diredge{n_c2}{c2a_d}
  \freetext(6.2,24.5){ja}
@@ -145,6 +164,8 @@ foobar ...
  \textnode{test_sf}(3,20){steps vielfaches von save intervall?}
  \diredge{ze}{test_sf}
  \edgetext{ze}{test_sf}{ja}
+ \dirbow{d_d}{test_sf}{0.6}
+ \bowtext{d_d}{test_sf}{0.6}{nein}
  \textnode{sf}(1,19){save data}
  \diredge{test_sf}{sf}
  \edgetext{test_sf}{sf}{ja}