From: hackbard Date: Mon, 19 Sep 2005 16:02:41 +0000 (+0000) Subject: bla X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=commitdiff_plain;h=f9c1cc072c5a48987d54210d7cd67d88821bd43a;p=lectures%2Flatex.git bla --- diff --git a/nlsop/diplom/exp_befunde.tex b/nlsop/diplom/exp_befunde.tex index 0536b57..d2bd276 100644 --- a/nlsop/diplom/exp_befunde.tex +++ b/nlsop/diplom/exp_befunde.tex @@ -1,8 +1,6 @@ \chapter{Experimentelle Befunde} \label{chapter:exp_befunde} -Im Folgenden - Gegenstand dieser Arbeit ist die Umsetzung eines Modells, welches den Selbstorganisationsvorgang von lamellaren und sph"arischen $SiC_x$-Ausscheidungen an der vorderen Grenzfl"ache zur durchgehenden amorphen $SiC_x$-Schicht bei Hochdosis-Kohlenstoff-Implantation in Silizium erkl"aren soll. Die Entstehung solcher Ausscheidungen beobachtet man nur unter bestimmten Implantationsbedingungen. Im Folgenden sollen einige der experimentellen Ergebnisse bez"uglich der Bildung der geordneten Ausscheidungen aus \cite{maik_da} zusammengefasst werden.