From ac630cefa4ac2111ddb21e26caf017d11368e251 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Mon, 1 Sep 2003 14:13:18 +0000 Subject: [PATCH] - --- nlsop/nlsop_fb_bericht.tex | 2 +- 1 file changed, 1 insertion(+), 1 deletion(-) diff --git a/nlsop/nlsop_fb_bericht.tex b/nlsop/nlsop_fb_bericht.tex index 25ddaa9..5d6aef8 100644 --- a/nlsop/nlsop_fb_bericht.tex +++ b/nlsop/nlsop_fb_bericht.tex @@ -24,7 +24,7 @@ \mainmatter \chapter{Einleitung} -In der folgenden Arbeit soll die Entstehung und Selbstorganisation amorpher lamellarer Einschluesse bei Hochdosis Kohlenstoffimplantation in $(100)$ orientiertes Silizium untersucht werden. Solche Einschluesse findet man bei Targettemperaturen keiner $400 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ und einer Dosis von $8,5 \times 10^17 \frac{C}{cm^2}$ oberhalb des Implantationspeaks. "Ahnliche Strukturen beobachtet man auch bei Hochdosis-Sauerstoff-Implantation in Silizium. +In der folgenden Arbeit soll die Entstehung und Selbstorganisation amorpher lamellarer Einschluesse bei Hochdosis Kohlenstoffimplantation in $(100)$ orientiertes Silizium untersucht werden. Solche Einschluesse findet man bei Targettemperaturen kleiner $400 \, ^{\circ} \mathrm{C}$ und einer Dosis von $8,5 \times 10^17 \frac{C}{cm^2}$ oberhalb des Implantationspeaks. "Ahnliche Strukturen beobachtet man auch bei Hochdosis-Sauerstoff-Implantation in Silizium. Der Hauptteil der Arbeit befasst sich mit der Beschreibung des, f"ur diese Selbstorganisationsproze"se zugrundeliegenden Modells und einer daraus erarbeiteten Simulation. Die Arbeit ist wie folgt geliedert. -- 2.20.1