From 38de096bd7a7622622085901fda407650d9c5d70 Mon Sep 17 00:00:00 2001 From: hackbard Date: Tue, 7 Jun 2005 15:49:06 +0000 Subject: [PATCH] old fp_b amorphisation text copied over --- nlsop/diplom/grundlagen.tex | 16 ++++++++++++++++ 1 file changed, 16 insertions(+) diff --git a/nlsop/diplom/grundlagen.tex b/nlsop/diplom/grundlagen.tex index 2e31fae..dbcda87 100644 --- a/nlsop/diplom/grundlagen.tex +++ b/nlsop/diplom/grundlagen.tex @@ -351,3 +351,19 @@ \subsection{Die Monte-Carlo-Simulation {\em TRIM}} \subsection{Strahlensch"aden und Amorphisierung} + + Durch die Bestrahlung des Targets werden Sch"aden im Kristallgitter hervorgerufen. + Dabei werden Targetatome durch St"o"se mit Ionen verlagert, oder durch St"o"se durch bereits angesto"sene Atome, sogenannten Recoils, wenn diese mindestens die Verlagerungsenergie $E_d$ besitzen. + Im letzten Fall spricht man auch von Verlagerungskaskaden. + Die in einem prim"aren Sto"s verlagerten Atome, durch ein Ion der Energie $E$, kann nach Kinchin Pease zu + \[ + N_{p,d} = \frac{E}{E_d} + \] + abgesch"atzt werden. + + Gleichzeitig heilen Defekte aus, indem verlagerte Gitteratome an ihren Gitterplatz zur"uckkehren. + Bei der thermischen Defektausheilung wird dies durch die thermisch erh"ohte Mobilit"at der Defekte erm"oglicht. + Andererseits kann der Ionenstrahl selbst zur Defektausheilung beitragen. + Dieser kann an amorph-kristallinen Grenzfl"achen Rekristallisation beg"unstigen oder auch zur Bildung von Kristallisationskeimen in amorphen Gebieten f"uhren. + + -- 2.39.2