nlsop/nlsop_dpg_2005.tex

   1 \documentclass[semhelv]{seminar}
   2
   3 \usepackage{verbatim}
   4 \usepackage[german]{babel}
   5 \usepackage[latin1]{inputenc}
   6 \usepackage[T1]{fontenc}
   7 \usepackage{amsmath}
   8 \usepackage{ae}
   9
  10 \usepackage{calc}               % Simple computations with LaTeX variables
  11 \usepackage[hang]{caption2}     % Improved captions
  12 \usepackage{fancybox}           % To have several backgrounds
  13
  14 \usepackage{fancyhdr}           % Headers and footers definitions
  15 \usepackage{fancyvrb}           % Fancy verbatim environments
  16 \usepackage{pstcol}             % PSTricks with the standard color package
  17
  18 \usepackage{graphicx}
  19 \graphicspath{{./img/}}
  20
  21 \usepackage{semcolor}
  22 \usepackage{semlayer}           % Seminar overlays
  23 \usepackage{slidesec}           % Seminar sections and list of slides
  24
  25 \input{seminar.bug}             % Official bugs corrections
  26 \input{seminar.bg2}             % Unofficial bugs corrections
  27
  28 \articlemag{1}
  29
  30 \begin{document}
  31
  32 \extraslideheight{10in}
  33 \slideframe{none}
  34
  35 \def\slideleftmargin{.0in}
  36 \def\sliderightmargin{0in}
  37 \def\slidetopmargin{0in}
  38 \def\slidebottommargin{.2in} % fucking slide number gone now :)
  39
  40 % topic
  41
  42 \begin{slide}
  43 \begin{figure}[t]
  44  \begin{center}
  45   \includegraphics[height=1cm]{ifp.eps}
  46   \\
  47   \includegraphics[height=2cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}
  48  \end{center}
  49 \end{figure}
  50 \begin{center}
  51  \large\bf
  52  Kinetik des Selbstorganisationsvorgangs bei der Bildung von $SiC_x$-Ausscheidungs-Arrays in $C^+$-Ionen-implantiertem Silizium
  53 \end{center}
  54 \begin{center}
  55  F. Zirkelbach, M. H"aberlen, J. K. N. Lindner und B. Stritzker
  56 \end{center}
  57 \end{slide}
  58
  59 % start of content
  60 \ptsize{8}
  61
  62 \begin{slide}
  63 {\large\bf
  64  Cross-Section TEM-Aufnahme selbstorganisierter amorpher Lamellen
  65 }
  66 \begin{figure}
  67  \begin{center}
  68   \includegraphics[width=10cm]{k393abild1_.eps}
  69   Hellfeld-TEM-Abbildung, $180 keV \textrm{ } C^+ \rightarrow Si(100)$, $150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$
  70  \end{center}
  71 \end{figure}
  72 \end{slide}
  73
  74 \begin{slide}
  75 {\large\bf
  76  Modell
  77 }
  78 \begin{figure}
  79  \begin{center}
  80   \includegraphics[width=8cm]{model1_s_german.eps}
  81  \end{center}
  82 \end{figure}
  83 \begin{itemize}
  84  \small
  85  \item L"oslichkeit von Kohlenstoff in $c$-Silizium "uberschritten \\ $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
  86  \item hohe Grenzfl"achenenergie zwischen $c-Si$ und $3C-SiC$ \\ $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
  87  \item $20-30\%$ geringere Dichte von amorphen zu kristallinen $SiC$ \\ $\rightarrow$ Druckspannungen auf Umgebung
  88  \item nahe der Oberfl"ache \\ $\rightarrow$ Relaxation der Druckspannung in $z$-Richtung
  89  \item Abbau der Kohlenstoff"ubers"attigung in kristallinen Gebieten \\ $\rightarrow$ Diffusion von Kohlenstoff in amorphe Gebiete
  90  \item Druckspannungen \\ $\rightarrow$ bevorzugte Amorphisierung zwischen zwei amorphen Ausscheidungen
  91 \end{itemize}
  92 \end{slide}
  93
  94 \begin{slide}
  95 {\large\bf
  96  Simulation
  97 }
  98 %\begin{picture}(50,50)(-50,0)
  99  \begin{figure}
 100   \includegraphics[width=7cm]{gitter_oZ.eps}
 101  \end{figure}
 102 %\end{picture}
 103 \begin{picture}(200,0)(-180,0)
 104  \begin{figure}
 105   \includegraphics[width=6cm]{2pTRIM180C.eps}
 106   %\includegraphics[width=6cm]{implsim_new.eps}
 107  \end{figure}
 108 \end{picture}
 109 \begin{tabular}{l|c|c}
 110  & Version 1 & Version 2 \\
 111  \hline{}
 112  Anzahl Zellen $(x,y,z)$ & $64 \times 64 \times 100$ & $64 \times 64 \times 233$ \\
 113  \hline{}
 114  nukleares Bremskraftprofil & linear gen"ahert & exakt (TRIM) \\
 115  \hline{}
 116  Implantationsprofil & linear gen"ahert & exakt (TRIM) \\
 117  \hline{}
 118  Treffer pro implantierten Teilchen & $1$ & exakt (TRIM) \\
 119  \hline{}
 120  Anzahl der implantierten Teilchen & freier Parameter & $\equiv$ Dosis \\
 121 \end{tabular}
 122 \end{slide}
 123
 124 \begin{slide}
 125 {\large\bf
 126  Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit \\
 127 }
 128 \[
 129   \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} \qquad + \qquad \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} \qquad + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\
 130 \]
 131 \begin{picture}(70,15)(-28,0)
 132  \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch}
 133 \end{picture}
 134 \begin{picture}(100,15)(-15,0)
 135  \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert}
 136 \end{picture}
 137 \begin{picture}(120,15)(-40,0)
 138  \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert}
 139 \end{picture}
 140 \begin{picture}(300,40)
 141 $
 142   p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit}
 143 $
 144 \end{picture}
 145 \begin{displaymath}
 146  \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll}
 147   1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
 148   0 & \textrm{sonst} \\
 149  \end{array} \right.
 150 \end{displaymath}
 151 \end{slide}
 152
 153 \begin{slide}
 154 {\large\bf
 155  Simulationsalgorithmus
 156 }
 157  \includegraphics[width=10cm]{flowchart2.eps}
 158 \end{slide}
 159
 160 %\begin{slide}
 161 %{\large\bf
 162 % Simulationsalgorithmus
 163 %}
 164 %\begin{enumerate}
 165 % \item Amorphisierung/Rekristallisation
 166 %  \begin{itemize}
 167 %   \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft
 168 %   \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$
 169 %   \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl
 170 %  \end{itemize}
 171 % \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target
 172 %  \begin{itemize}
 173 %   \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung entsprechend Implantationsprofil
 174 %   \item lokale Erh"ohung des Kohelnstoffgehalts
 175 %  \end{itemize}
 176 % \item Diffusionsprozess und Sputtern
 177 %  \begin{itemize}
 178 %   \item Kohelnstoffdiffusion von kristallinen in amorphe Gebiete alle $d_v$ Schritte:
 179 %    \[
 180 %     \Delta c =  c_C(Nachbar) \times dr_{ac}
 181 %    \]
 182 %   \item Nachr"ucken einer kristallinen kohlenstofffreien Ebene von oben
 183 %  \end{itemize}
 184 %\end{enumerate}
 185 %\end{slide}
 186
 187 \begin{slide}
 188 {\large\bf
 189  Ergebnisse - Version 1
 190 }
 191 \begin{itemize}
 192  \item \textcolor[rgb]{1,0,0}{Lamellare Strukturen}
 193   \begin{center}
 194    \includegraphics[height=6cm]{if_cmp3.eps}
 195   \end{center}
 196  \end{itemize}
 197 \end{slide}
 198
 199 \begin{slide}
 200 {\large\bf
 201  Ergebnisse - Version 1
 202 }
 203 \begin{itemize}
 204  \item Einfluss der Diffusion
 205 \end{itemize}
 206 \begin{tabular}{lr}
 207   \includegraphics[height=5cm]{diff_einfluss.eps} &
 208   \includegraphics[height=5cm]{sim2-a004-Z_and_noZ-TEMVIEW-ls.eps} \\
 209 \end{tabular}
 210 \end{slide}
 211
 212 \begin{slide}
 213 {\large\bf
 214  Ergebnisse - Version 1
 215 }
 216 \begin{itemize}
 217  \item Bildung komplement"ar angeordneter, amorpher kohlenstoffreicher Ausscheidungen in aufeinander folgenden Ebenen.
 218 \end{itemize}
 219 \begin{tabular}{lr}
 220  \includegraphics[height=7cm]{really_all_z-z_plus1.eps} &
 221  \includegraphics[width=8cm]{ac_cconc_d.eps} \\
 222 \end{tabular}
 223 \end{slide}
 224
 225 \begin{slide}
 226 {\large\bf
 227  Ergebnisse - Version 2
 228 }
 229 \begin{itemize}
 230  \item Dosisentwicklung
 231 \end{itemize}
 232 \begin{figure}
 233  \begin{center}
 234   \includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung2.eps}
 235  \end{center}
 236 \end{figure}
 237 \end{slide}
 238
 239 \begin{slide}
 240 {\large\bf
 241  Zusammenfassung
 242 }
 243 \begin{itemize}
 244  \item einfaches Modell zur Erzeugung selbstorganisierter amorpher Ausscheidungen
 245  \item lamellare Strukturen durch Simulation nachvollziehbar
 246 \end{itemize}
 247 \vspace{32pt}
 248 {\large\bf
 249  Ausblick
 250 }
 251 \begin{itemize}
 252  \item mehr \dq Version 2 \dq{} - Versuche
 253  \item Simulation anderer Ion-Target Kombinationen \\
 254   $\rightarrow$ Zusammenhang zwischen Simulations und Implantationsparametern
 255 \end{itemize}
 256 \vspace{32pt}
 257 \begin{flushleft}
 258  {\small Folien und Quellcode: http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/} \\
 259  {\small Email: frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
 260 \end{flushleft}
 261 \end{slide}
 262
 263 \end{document}