nlsop/talk/talk_german.tex

   1 \documentclass{beamer}
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  22
  23 \begin{document}
  24
  25 \title{Vorstellung der Diplomarbeit}
  26 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
  27 \author[F. Zirkelbach]{Frank Zirkelbach \\ \texttt{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}}
  28 \institute{
  29 Institut f"ur Physik\\
  30 Lehrstuhl f"ur Experimentalphysik IV\\
  31 Universit"at Augsburg
  32 }
  33 \date{10. November 2005}
  34 %\pgfdeclareimage[width=1.5cm]{lst-logo}{Lehrstuhl-Logo}
  35 %\logo{\pgfuseimage{lst-logo}}
  36
  37 %\beamerdefaultoverlayspecification{<+->}
  38
  39 \AtBeginSubsection[]
  40 {
  41   \begin{frame}<beamer>
  42     \frametitle{"Uberblick}
  43     \tableofcontents[currentsubsection]
  44   \end{frame}
  45 }
  46
  47 \begin{frame}
  48   \titlepage
  49 \end{frame}
  50
  51 \begin{frame}
  52   \frametitle{"Uberblick}
  53   \tableofcontents%[pausesections]
  54 \end{frame}
  55
  56 \section{Einf"uhrung und Grundlagen}
  57
  58   \subsection{Einf"uhrung}
  59
  60 \begin{frame}
  61   \frametitle{Einf"uhrung}
  62   \framesubtitle{Ionenimplantation}
  63   \begin{block}{Funktionsweise}
  64     \begin{itemize}
  65       \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
  66       \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
  67       \item Bestrahlung eines Festk"orpers
  68     \end{itemize}
  69   \end{block}
  70   \onslide<2->
  71   $\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten
  72   \begin{block}{Anwendung}
  73   Dotierung von Halbleiterkristallen
  74   \end{block}
  75 \end{frame}
  76
  77 \begin{frame}
  78   \frametitle{Einf"uhrung}
  79   \framesubtitle{Ionenimplantation}
  80   \begin{block}{Vorteile}
  81     \begin{itemize}
  82       \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
  83       \item Reproduzierbarkeit
  84       \item Homogenit"at
  85       \item Schnelligkeit
  86       \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
  87       \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
  88     \end{itemize}
  89   \end{block}
  90 \end{frame}
  91
  92 \begin{frame}
  93   \frametitle{Einf"uhrung}
  94   \framesubtitle{Selbstorganisation}
  95   \begin{columns}
  96     \column{4.5cm}
  97       \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh.eps}}
  98       \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg.eps}}
  99       \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2.eps}}
 100     \column{6.5cm}
 101       \begin{enumerate}
 102         \item<1-> Riffelformation auf der Targetoberfl"ache
 103         \item<2-> separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen
 104         \item<3-> periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen
 105       \end{enumerate}
 106   \end{columns}
 107 \end{frame}
 108
 109   \subsection{Ion-Festk"orper-Wechselwirkung}
 110
 111 \begin{frame}
 112   \frametitle{Grundlagen}
 113   \framesubtitle{Abbremsung der Ionen}
 114      \onslide<2->
 115      \begin{block}{nuklearer Bremsquerschnitt}
 116        elastischer Sto"s mit Atomkernen des Targets\\
 117        $S_n(E) = \int_0^{T_{max}} T d \sigma$
 118      \end{block}
 119      \onslide<3->
 120      \begin{block}{elektronischer Bremsquerschnitt}
 121        inelastischer Sto"s mit Elektronen des Targets\\
 122        $S_e(E) = k_L \sqrt{E}$
 123      \end{block}
 124      \onslide<4->
 125      \begin{block}{Bremskraft}
 126        $- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( S_n(E) + S_e(E) \Big)$
 127      \end{block}
 128 \end{frame}
 129
 130   \subsection[TRIM]{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM}
 131
 132 \begin{frame}
 133   \frametitle{Grundlagen}
 134   \framesubtitle{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM}
 135   \begin{block}{Prinzip}
 136     \begin{itemize}
 137       \item Verfolgung einer Vielzahl von Teilchenbahnen
 138       \pause
 139       \item Start mit gegebener Energie, Position und Richtung
 140       \pause
 141       \item Geradlinige Bewegung innerhalb freier Wegl"ange
 142       \pause
 143       \item Energieverlust durch St"o"se
 144       \pause
 145       \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_d$
 146       \pause
 147       \item Abbildung von Zufallszahlen auf:
 148         \begin{itemize}
 149            \item freie Wegl"ange $l$
 150            \item Sto"sparameter $p \quad \Rightarrow$ Ablenkwinkel $\Theta \Rightarrow \Delta E$
 151            \item Azimutwinkel $\Phi$
 152         \end{itemize}
 153     \end{itemize}
 154   \end{block}
 155 \end{frame}
 156
 157 \section{Experimentelle Befunde und Modell}
 158
 159   \subsection{Experimentelle Befunde}
 160
 161 \begin{frame}
 162   \frametitle{Experimentelle Befunde}
 163   \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
 164     \begin{center}
 165       \includegraphics[height=5.5cm]{k393abild1_pres.eps}
 166     \end{center}
 167     \begin{center}
 168       {\scriptsize\bf Hellfeld-TEM-Abbildung: $180 \, keV \, C^+ \rightarrow (100)Si$, $T = 150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $D = 4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
 169     \end{center}
 170 \end{frame}
 171
 172 \begin{frame}
 173   \frametitle{Experimentelle Befunde}
 174   \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
 175     \begin{columns}
 176       \column{5.5cm}
 177         \includegraphics[width=5.5cm]{a-d.eps}
 178         {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$}
 179       \column{5.5cm}
 180         \vspace{0.5cm}
 181         \includegraphics[width=5.5cm]{a-t.eps}
 182         {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Temperatur f"ur die Dosis $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
 183     \end{columns}
 184 \end{frame}
 185
 186 \begin{frame}
 187   \frametitle{Experimentelle Befunde}
 188   \framesubtitle{Kohlenstoffsegregation}
 189     \begin{center}
 190       \includegraphics[width=10cm]{eftem.eps}
 191         {\scriptsize Hellfeld-TEM- und Elementverteilungsaufnahme. $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$, $T=200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$.}
 192     \end{center}
 193 \end{frame}
 194
 195   \subsection{Modell}
 196
 197 \begin{frame}
 198   \frametitle{Modell}
 199     \begin{center}
 200       \includegraphics[width=8cm]{modell_ng.eps}
 201     \end{center}
 202     \scriptsize{
 203     \begin{itemize}
 204       \pause
 205       \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\
 206             $\rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
 207       \pause
 208       \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$\\
 209             $\rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
 210       \pause
 211       \item Geringere Dichte des amorphen $SiC_x$ im Gegensatz zum $c-Si$\\
 212             $\rightarrow$ laterale Druckspannungen
 213       \pause
 214       \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff\\
 215             $\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$
 216     \end{itemize}}
 217 \end{frame}
 218
 219 \section{Simulation und Ergebnisse}
 220
 221   \subsection{Simulation}
 222
 223 \begin{frame}
 224   \frametitle{Simulation}
 225   \begin{block}{Name}
 226   {\bf N}ano {\bf L}amellar {\bf S}elbst{\bf o}rganisations{\bf p}rozess
 227   \end{block}
 228   \begin{block}{Grober Ablauf}
 229     \begin{itemize}
 230       \item Amorphisierung/Rekristallisation
 231       \item Kohlenstoffeinbau
 232       \item Diffusion/Sputtern
 233     \end{itemize}
 234   \end{block}
 235   \begin{block}{Versionen}
 236     \begin{itemize}
 237       \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe
 238       \item Version 2 - Simulation "uber den ganzen Tiefenbereich
 239     \end{itemize}
 240   \end{block}
 241 \end{frame}
 242
 243 \begin{frame}
 244   \frametitle{Simulation}
 245   \framesubtitle{Unterteilung des Targets}
 246   \begin{center}
 247     \includegraphics[width=8cm]{gitter_oZ.eps}
 248   \end{center}
 249 \end{frame}
 250
 251 \begin{frame}
 252   \frametitle{Simulation}
 253   \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen}
 254   \begin{columns}
 255     \column{5.5cm}
 256       \includegraphics[width=5.5cm]{trim_nel.eps}
 257       {\scriptsize SRIM 2003.26, nukleare Bremskraft,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}
 258     \column{5.5cm}
 259       \includegraphics[width=5.5cm]{trim_impl2.eps}
 260       {\scriptsize SRIM 2003.26, Implantationsprofil,\\ $180 \, keV$ $C^+ \rightarrow Si$.}
 261   \end{columns}
 262 \end{frame}
 263
 264 \begin{frame}
 265   \frametitle{Simulation}
 266   \framesubtitle{Statistik von Sto"sprozessen}
 267   \begin{center}
 268     \includegraphics[width=7cm]{trim_coll.eps}\\
 269   \end{center}
 270     {\scriptsize $\Rightarrow$ Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}\\
 271     {\scriptsize $\Rightarrow$ Mittlere W"urfel-Trefferzahl eines Ions}
 272 \end{frame}
 273
 274 \begin{frame}
 275   \frametitle{Simulation}
 276   \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation}
 277   \begin{block}{Amorphisierungswahrscheinlichkeit}
 278     \[
 279     p_{c \rightarrow a}(\vec{r}) = \pause \color{green}{p_b} \pause + \color{blue}{p_c c_C(\vec{r})} \pause + \color{red}{\sum_{\textrm{amorphe Nachbarn}} \frac{p_s c_C(\vec{r'})}{(r-r')^2}}
 280     \]
 281   \begin{itemize}
 282     \onslide<2-> \item \color{green}{ballistische Amorphisierung}
 283     \onslide<3-> \item \color{blue}{kohlenstoffinduzierte Amorphisierung}
 284     \onslide<4-> \item \color{red}{spannungsuntert"utzte Amorphisierung}
 285   \end{itemize}
 286   \end{block}
 287 \end{frame}
 288
 289 \begin{frame}
 290   \frametitle{Simulation}
 291   \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallsiation}
 292   \begin{block}{Rekristallisationswahrscheinlichkeit}
 293     \[
 294     p_{a \rightarrow c}(\vec{r}) = \pause (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec{r})) \pause \Big( 1 - \frac{\sum_{\textrm{direkte Nachbarn}} \delta(\vec{r'})}{6} \Big)
 295     \]
 296     mit\\
 297     \[
 298     \delta(\vec{r}) = \left\{
 299       \begin{array}{ll}
 300         1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
 301         0 & \textrm{sonst} \\
 302       \end{array}
 303     \right.
 304     \]
 305   \end{block}
 306 \end{frame}
 307
 308
 309 \begin{frame}
 310   \frametitle{Simulation}
 311   \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation}
 312   \begin{block}{Sto"skoordinaten}
 313     \begin{itemize}
 314       \item $x,y$ gleichverteilt
 315       \item $z$ entsprechend nuklearer Bremskraft
 316     \end{itemize}
 317   \end{block}
 318   \begin{block}{Ablauf}
 319     \begin{itemize}
 320       \pause
 321       \item Ausw"urfeln der Sto"skoordinaten
 322       \pause
 323       \item Berechnung von $p_{c \rightarrow a}$ bzw. $p_{a \rightarrow c}$
 324       \pause
 325       \item Zufallszahl $\rightarrow$ Amorphisierung/Rekristallisation
 326       \pause
 327       \item Wiederholung f"ur mittlere Anzahl der Treffer des Ions
 328     \end{itemize}
 329   \end{block}
 330 \end{frame}
 331
 332 \begin{frame}
 333   \frametitle{Simulation}
 334   \framesubtitle{Algorithmus - Kohlenstoffeinbau}
 335   \begin{block}{Koordinaten f"ur Kohlenstoffeinbau}
 336     \begin{itemize}
 337       \item $x,y$ gleichverteilt
 338       \item $z$ entsprechend Implantationsprofil
 339     \end{itemize}
 340   \end{block}
 341   \begin{block}{Ablauf}
 342     \begin{itemize}
 343       \pause
 344       \item Ausw"urfeln der Koordinaten f"ur Kohlenstoffeinbau
 345       \pause
 346       \item Lokale Erh"ohung der Anzahl der Kohlenstoffatome
 347     \end{itemize}
 348   \end{block}
 349 \end{frame}
 350
 351 \begin{frame}
 352   \frametitle{Simulation}
 353   \framesubtitle{Algorithmus - Diffusion/Sputtern}
 354   \begin{block}{Ablauf der Diffusion alle $d_v$ Schritte}
 355     \begin{itemize}
 356       \pause
 357       \item Gehe alle Zellen durch
 358       \pause
 359       \item Wenn Zelle amorph
 360             \begin{itemize}
 361               \pause
 362               \item Gehe alle Nachbarzellen durch
 363               \pause
 364               \item Wenn Nachbarzelle kristallin\\
 365                     \pause
 366                     $\Rightarrow$ Transferiere den Anteil $d_r$ des Kohlenstoffs
 367             \end{itemize}
 368     \end{itemize}
 369   \end{block}
 370   \pause
 371   \begin{block}{Sputterablauf alle $s$ Schritte}
 372     \begin{itemize}
 373       \pause
 374       \item Kopiere Inhalt von Ebene $i$ nach Ebene $i-1$\\
 375             $i \in Z,Z-1,\ldots,2$
 376       \pause
 377       \item Setze Status jedes Volumens in Ebene $Z$ kristallin
 378       \pause
 379       \item Setze den Kohlenstoff jedes Volumens in Ebene $Z$ auf Null
 380     \end{itemize}
 381   \end{block}
 382 \end{frame}
 383
 384   \subsection{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe}
 385
 386 \begin{frame}
 387   \frametitle{Ergebnisse}
 388   \framesubtitle{Simulation, Version 1}
 389   \begin{block}{Eigenschaften}
 390     \begin{itemize}
 391       \pause
 392       \item Linear gen"ahertes Implantations- und Bremskraftprofil
 393       \pause
 394       \item Ein W"urfel-Treffer pro Ion
 395       \pause
 396       \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit unabh"angig von direkter Nachbarschaft
 397       \pause
 398       \item Tiefenbereich $0 - 300 \, nm$
 399       \pause
 400       \item Kein Sputtervorgang
 401     \end{itemize}
 402   \end{block}
 403 \end{frame}
 404
 405 \begin{frame}
 406   \frametitle{Ergebnisse}
 407   \framesubtitle{Erste Simulationen}
 408   \begin{center}
 409   \includegraphics[width=10cm]{first_sims.eps}
 410   \end{center}
 411   \pause
 412   \scriptsize{
 413   $\Rightarrow$ Abbruchradius $r=5$\\
 414   $\Rightarrow$ niedrige Simulationsparameter\\
 415   $\Rightarrow$ gro"se Anzahl an Durchl"aufen\\}
 416 \end{frame}
 417
 418 \begin{frame}
 419   \frametitle{Ergebnisse}
 420   \framesubtitle{Vergleich mit TEM-Aufnahme}
 421   \color{red}{Lamellare Strukturen}
 422   \begin{center}
 423     \includegraphics[width=10cm]{if_cmp3.eps}
 424   \end{center}
 425 \end{frame}
 426
 427 \begin{frame}
 428   \frametitle{Ergebnisse}
 429   \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsrate $d_r$}
 430   \begin{columns}
 431     \column{6cm}
 432       \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss.eps}
 433     \column{6cm}
 434       \includegraphics[width=6cm]{diff_einfluss_ls.eps}
 435   \end{columns}
 436 \end{frame}
 437
 438 \begin{frame}
 439   \frametitle{Ergebnisse}
 440   \framesubtitle{Einfluss der Diffusionsgeschwindigkeit $d_v$}
 441   \begin{columns}
 442     \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{low_to_high_dv.eps}
 443     \column{4cm} \includegraphics[width=4cm]{ls_dv_cmp.eps}
 444   \end{columns}
 445 \end{frame}
 446
 447 \begin{frame}
 448   \frametitle{Ergebnisse}
 449   \framesubtitle{Einfluss der Druckspannung}
 450   \begin{columns}
 451     \column{8cm} \includegraphics[width=8cm]{high_to_low_a.eps}
 452     \column{4cm}
 453       \includegraphics[width=4cm]{ps_einfluss_ls.eps}
 454       \begin{center}
 455       \scriptsize{
 456       a) $p_s=0.002$\\
 457       b) $p_s=0.003$\\
 458       c) $p_s=0.004$\\
 459       }
 460       \end{center}
 461   \end{columns}
 462 \end{frame}
 463
 464 \begin{frame}
 465   \frametitle{Ergebnisse}
 466   \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung}
 467   \begin{columns}
 468     \column{5cm} \includegraphics[width=5cm]{97_98_ng.eps}
 469     \column{7cm} \includegraphics[width=7cm]{ac_cconc_ver1.eps}
 470   \end{columns}
 471 \end{frame}
 472
 473 \begin{frame}
 474   \frametitle{Ergebnisse}
 475   \framesubtitle{Zusammenfassung, Version 1}
 476   \begin{itemize}
 477     \item Modell/Simulation reproduziert die Bildung geordneter Lamellenstrukturen
 478     \item Bildungsprozess nachvollziehbar durch die Simulation
 479     \item hohe Anzahl an Simulationsdurchl"aufen,\\
 480           kleine Amorphisierungswahrscheinlichkeiten
 481     \item Diffusion essentiell, insbesondere die Diffusion in $z$-Richtung
 482     \item hoher Beitrag durch kohlenstoffinduzierte Amorphisierung
 483     \item Kohlenstoffverteilung im Einklang mit EFTEM-Aufnahme
 484   \end{itemize}
 485 \end{frame}
 486
 487   \subsection{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
 488
 489 \begin{frame}
 490   \frametitle{Ergebnisse}
 491   \framesubtitle{Simulation, Version 2}
 492   \begin{block}{Eigenschaften}
 493     \begin{itemize}
 494       \pause
 495       \item exaktes TRIM Implantations- und Bremskraftprofil
 496       \pause
 497       \item mittlere Anzahl W"urfel-Treffer pro Ion aus TRIM
 498       \pause
 499       \item Rekristallisationswahrscheinlichkeit abh"angig von direkter Nachbarschaft
 500       \pause
 501       \item Tiefenbereich $0 - 700 \, nm$
 502       \pause
 503       \item Sputtervorgang
 504     \end{itemize}
 505   \end{block}
 506 \end{frame}
 507
 508 \begin{frame}
 509   \frametitle{Ergebnisse}
 510   \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
 511   \begin{center}
 512     \includegraphics[width=10cm]{dosis_entwicklung_ng1-2.eps}
 513   \end{center}
 514 \end{frame}
 515
 516 \begin{frame}
 517   \frametitle{Ergebnisse}
 518   \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
 519   \begin{center}
 520     \includegraphics[width=10cm]{dosis_entwicklung_ng2-2.eps}
 521   \end{center}
 522 \end{frame}
 523
 524 \begin{frame}
 525   \frametitle{Ergebnisse}
 526   \framesubtitle{amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis}
 527   \begin{columns}
 528     \column{6cm}
 529       \includegraphics[width=6cm]{position_al.eps}
 530       \begin{center}
 531       {\scriptsize Simulation}
 532       \end{center}
 533     \column{6cm}
 534       \includegraphics[width=6cm]{a-d.eps}
 535       \begin{center}
 536       {\scriptsize Experiment}
 537       \end{center}
 538   \end{columns}
 539 \end{frame}
 540
 541 \begin{frame}
 542   \frametitle{Ergebnisse}
 543   \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung}
 544   \begin{center}
 545      \includegraphics[height=6.5cm]{ac_cconc_ver2_new_pres.eps}
 546   \end{center}
 547 \end{frame}
 548
 549 \begin{frame}
 550   \frametitle{Ergebnisse}
 551   \framesubtitle{Kohlenstoffverteilung an den Grenzfl"achen zur amorphen Schicht}
 552       \begin{center}
 553       \scriptsize{
 554       \begin{tabular}{|c|c|c|}
 555         \hline
 556         Dosis & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3.5cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\
 557         \hline
 558         $2,1 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 16 $at. \%$ & 13 $at. \%$ \\
 559         \hline
 560         $3,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 13 $at. \%$ & 14 $at. \%$ \\
 561         \hline
 562         $3,4 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 14 $at. \%$ & 12 $at. \%$ \\
 563         \hline
 564       \end{tabular}\\
 565       Experiment\\
 566       \begin{tabular}{|c|c|c|c|}
 567         \hline
 568         Durchl"aufe & \begin{minipage}{2.5cm} \begin{center} "aquivalente Dosis \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an vorderer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} & \begin{minipage}{3cm} \begin{center} $C$-Konzentration an hinterer Grenzfl"ache \end{center} \end{minipage} \\
 569
 570         \hline
 571         $80 \times 10^6$ & $2,16 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 15,21 $at. \%$ & 16,62 $at. \%$ \\
 572         \hline
 573         $120 \times 10^6$ & $3,25 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 15,80 $at. \%$ & 17,67 $at. \%$ \\
 574         \hline
 575         $159 \times 10^6$ & $4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$ & 17,28 $at. \%$ & 17,73 $at. \%$ \\
 576         \hline
 577       \end{tabular}\\
 578       Simulation}
 579       \end{center}
 580 \end{frame}
 581
 582 \begin{frame}
 583   \frametitle{Ergebnisse}
 584   \framesubtitle{Variation der Simulationsparameter}
 585   \begin{center}
 586     \includegraphics[width=9cm]{var_sim_paramters.eps}
 587   \end{center}
 588 \end{frame}
 589
 590   \subsection{Herstellung breiter Bereiche mit lamellarer Struktur}
 591
 592 \begin{frame}
 593   \frametitle{Ergebnisse}
 594   \framesubtitle{Zweiter Implantationsschritt}
 595 \end{frame}
 596
 597 \section{Zusammenfassung und Ausblick}
 598
 599 \begin{frame}
 600   \frametitle{Zusammenfassung}
 601 \end{frame}
 602
 603 \begin{frame}
 604   \frametitle{Ausblick}
 605 \end{frame}
 606
 607 \begin{frame}
 608   \frametitle{Danksagung}
 609   \begin{itemize}
 610     \item Prof. Dr. Bernd Stritzker
 611     \item PD Volker Eyert
 612     \item PD J"org Lindner
 613     \item Dipl. Phys. Maik H"aberlen
 614     \item Dipl. Phys. Ralf Utermann
 615     \item EP4 + Diplomanden
 616   \end{itemize}
 617 \end{frame}
 618
 619
 620 \end{document}