nlsop/talk/talk_german.tex

   1 \documentclass{beamer}
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  21
  22 \begin{document}
  23
  24 \title{Vorstellung der Diplomarbeit}
  25 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
  26 \author[F. Zirkelbach]{Frank Zirkelbach \\ \texttt{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}}
  27 \institute{
  28 Institut f"ur Physik\\
  29 Lehrstuhl f"ur Experimentalphysik IV\\
  30 Universit"at Augsburg
  31 }
  32 \date{10. November 2005}
  33 %\pgfdeclareimage[width=1.5cm]{lst-logo}{Lehrstuhl-Logo}
  34 %\logo{\pgfuseimage{lst-logo}}
  35
  36 %\beamerdefaultoverlayspecification{<+->}
  37
  38 \AtBeginSubsection[]
  39 {
  40   \begin{frame}<beamer>
  41     \frametitle{"Uberblick}
  42     \tableofcontents[currentsubsection]
  43   \end{frame}
  44 }
  45
  46 \begin{frame}
  47   \titlepage
  48 \end{frame}
  49
  50 \begin{frame}
  51   \frametitle{"Uberblick}
  52   \tableofcontents%[pausesections]
  53 \end{frame}
  54
  55 \section{Einf"uhrung}
  56
  57   \subsection{Ionenimplantation}
  58
  59 \begin{frame}
  60   \frametitle{Einf"uhrung}
  61   \framesubtitle{Ionenimplantation}
  62   \begin{block}{Funktionsweise}
  63     \begin{itemize}
  64       \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
  65       \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
  66       \item Bestrahlung eines Festk"orpers
  67     \end{itemize}
  68   \end{block}
  69   \onslide<2->
  70   $\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten
  71   \begin{block}{Anwendung}
  72   Dotierung von Halbleiterkristallen
  73   \end{block}
  74 \end{frame}
  75
  76 \begin{frame}
  77   \frametitle{Einf"uhrung}
  78   \framesubtitle{Ionenimplantation}
  79   \begin{block}{Vorteile}
  80     \begin{itemize}
  81       \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
  82       \item Reproduzierbarkeit
  83       \item Homogenit"at
  84       \item Schnelligkeit
  85       \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
  86       \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
  87     \end{itemize}
  88   \end{block}
  89 \end{frame}
  90
  91   \subsection{Selbstorganisation}
  92
  93 \begin{frame}
  94   \frametitle{Einf"uhrung}
  95   \framesubtitle{Selbstorganisation}
  96   \begin{columns}
  97     \column{4.5cm}
  98       \only<1>{\includegraphics[height=6.5cm]{ripple_bh}}
  99       \only<2>{\includegraphics[height=6.5cm]{bin_leg}}
 100       \only<3>{\includegraphics[height=6.5cm]{bolse2}}
 101     \column{6.5cm}
 102       \begin{enumerate}
 103         \item<1-> Riffelformation auf der Targetoberfl"ache
 104         \item<2-> separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen
 105         \item<3-> periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen
 106       \end{enumerate}
 107   \end{columns}
 108 \end{frame}
 109
 110 \section{Grundlagen}
 111
 112   \subsection{Abbremsung der Ionen}
 113
 114 \begin{frame}
 115   \frametitle{Grundlagen}
 116   \framesubtitle{Abbremsung der Ionen}
 117      \onslide<2->
 118      \begin{block}{nuklearer Bremsquerschnitt}
 119        elastischer Sto"s mit Atomkernen des Targets\\
 120        $S_n(E) = \int_0^{T_{max}} T d \sigma$
 121      \end{block}
 122      \onslide<3->
 123      \begin{block}{elektronischer Bremsquerschnitt}
 124        inelastischer Sto"s mit Elektronen des Targets\\
 125        $S_e(E) = k_L \sqrt{E}$
 126      \end{block}
 127      \onslide<4->
 128      \begin{block}{Bremskraft}
 129        $- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( S_n(E) + S_e(E) \Big)$
 130      \end{block}
 131 \end{frame}
 132
 133   \subsection[TRIM]{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM}
 134
 135 \begin{frame}
 136   \frametitle{Grundlagen}
 137   \framesubtitle{Die Monte-Carlo-Simulation TRIM}
 138   \begin{block}{Prinzip}
 139     \begin{itemize}
 140       \item Verfolgung einer Vielzahl von Teilchenbahnen
 141       \pause
 142       \item Start mit gegebener Energie, Position und Richtung
 143       \pause
 144       \item Geradlinige Bewegung innerhalb freier Wegl"ange
 145       \pause
 146       \item Energieverlust durch St"o"se
 147       \pause
 148       \item Terminiert wenn $E_{Ion} < E_d$
 149       \pause
 150       \item Abbildung von Zufallszahlen auf:
 151         \begin{itemize}
 152            \item freie Wegl"ange $l$
 153            \item Sto"sparameter $p \quad \Rightarrow$ Ablenkwinkel $\Theta \Rightarrow \Delta E$
 154            \item Azimutwinkel $\Phi$
 155         \end{itemize}
 156     \end{itemize}
 157   \end{block}
 158 \end{frame}
 159
 160 \section{Experimentelle Befunde}
 161
 162   \subsection[amorphe Phasen]{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
 163
 164 \begin{frame}
 165   \frametitle{Experimentelle Befunde}
 166   \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
 167     \begin{center}
 168       \includegraphics[height=5.5cm]{k393abild1_pres.eps}
 169     \end{center}
 170     \begin{center}
 171       {\scriptsize\bf Hellfeld-TEM-Abbildung: $180 \, keV \, C^+ \rightarrow (100)Si$, $T = 150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$, $D = 4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
 172     \end{center}
 173 \end{frame}
 174
 175 \begin{frame}
 176   \frametitle{Experimentelle Befunde}
 177   \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
 178 \end{frame}
 179
 180 \begin{frame}
 181   \frametitle{}
 182   \framesubtitle{}
 183 \end{frame}
 184
 185 \begin{frame}
 186   \frametitle{}
 187   \framesubtitle{}
 188 \end{frame}
 189
 190 \begin{frame}
 191   \frametitle{}
 192   \framesubtitle{}
 193 \end{frame}
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 195 \begin{frame}
 196   \frametitle{}
 197   \framesubtitle{}
 198 \end{frame}
 199
 200 \end{document}